[发明专利]一种高压注浆成型装置以及一种ITO旋转靶材的制备方法

说明书

本发明涉及靶材制备技术领域，提供了一种高压注浆成型装置以及一种ITO旋转靶材的制备方法。本发明提供的高压注浆成型装置包括成型装置、高压注浆装置和抽滤装置；所述的成型装置设置真空抽滤室、树脂外模和可伸缩的树脂内模。本发明将高压注浆与抽滤成型相结合，不仅能提高成型的效率和成功率，还能提高坯体的致密度；本发明提供的装置中具有可伸缩的树脂内模，通过逐节脱模的方法，可以减少每一次脱模的摩擦力，使脱模的成功率更高，同时也可通过该模具成型更大尺寸的旋转靶材，解决了目前企业中大型靶材无法脱模的问题。

技术领域

本发明涉及靶材制备技术领域，特别涉及一种高压注浆成型装置以及一种ITO旋转靶材的制备方法。

背景技术

近年来，由于铟锡氧化物(ITO)薄模具有对可见光透明、导电、硬度高和耐蚀耐磨的优点，在工业上获得了广泛的应用，平面显示、太阳能板、轿车风挡等多种产业都离不开ITO薄模。通常ITO薄模是通过ITO靶材溅射而成的，因此，生产性能优良的ITO靶材显得尤为关键。随着人们对产品品质性能的要求逐渐提升，对ITO靶材也提出了更高的要求，ITO靶材需要更高的利用率、更大的致密度、更大的尺寸。

ITO靶材主要分为ITO平面靶材和ITO旋转靶材：ITO平面靶材的制靶工艺已经比较成熟，但是平面靶材的溅射利用率较低，仅有30％左右，虽然价格比旋转靶材略低，但综合性价比不如旋转靶材，目前平面靶材逐渐被旋转靶材取代；旋转靶材与平面靶材相比，靶材利用率大大提高，可达到75～80％左右，而且由于旋转靶材为管状，在溅射过程中可向各个方向飞行，因而溅射的ITO薄模的均匀性更好；此外，旋转靶材对于零件内壁的沉积有独特的优越性。因此，无论从成本角度还是从质量角度来说，ITO旋转靶材都是一个更好的选择。

目前，ITO旋转靶材常用的制备方法有烧结法和喷涂法。喷涂法由于喷涂机制的自身特征，制备的旋转靶材中存在着较多的孔隙，难以得到高致密度的ITO旋转靶材，致密度低则会导致溅射的ITO薄模达不到使用标准。烧结法又细分为常压烧结、加压烧结和注浆成型烧结。常压烧结法是将氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后装入管状柔性模具中，通过等静压成型制成素坯后烧结而成，常压烧结的旋转靶材较加压烧结相比，其致密度较低；加压烧结制备工艺与常压烧结相似，但在烧结时需用保护气加压，由于烧结时不是在氧氛围下，因此铟锡氧化物容易失氧，导致纯度下降。不论是常压烧结还是加压烧结，两者的成型工艺都是等静压成型，等静压成型工艺操作复杂、投入成本大、生产效率低。注浆成型相较于等静压成型，其操作工艺相对简单且生产成本低，但传统的注浆成型工艺制备旋转靶材坯体不易脱模，成品率较低。

发明内容

有鉴于此，本发明目的在于提供一种高压注浆成型装置以及一种ITO旋转靶材的制备方法。使用本发明的高压注浆成型装置制备ITO旋转靶材，靶材坯体脱模成功率高，靶材成品率高，且所得ITO靶材的致密度更高。

为了实现上述发明目的，本发明提供以下技术方案：

一种高压注浆成型装置，包括高压注浆装置、成型装置和抽滤装置；

所述成型装置包括真空抽滤室、树脂外模、树脂内模和内模底座；所述真空抽滤室顶端设置有可打开的顶盖，顶盖上设置有注浆口；

所述树脂外模为圆筒状，位于真空抽滤室内部，且树脂外模的外壁和真空抽滤室的内壁之间存在空隙；

所述树脂内模为可伸缩式模具，位于树脂外模的圆筒中心；

所述内模底座设置于真空抽滤室下方，所述内模底座内部设置有与树脂内模相连接的伸缩装置，用于控制树脂内模的伸缩；

所述树脂外模和树脂内模均可装卸；

所述真空抽滤室底部设置有抽滤口；

所述高压注浆装置与成型装置的注浆口连接；