[发明专利]一种低电阻率五氧化二铌热压靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种低电阻率五氧化二铌热压靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

将五氧化二铌粉和铌粉混合后，进行真空预烧结，得到含一氧化铌的铌的氧化物；

将所述含一氧化铌的铌的氧化物球磨后，进行热压烧结，得到低电阻率五氧化二铌热压靶材。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述五氧化二铌粉和铌粉的质量比为100:1～5。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述真空预烧结的温度为1200～1400℃，绝对压力≤0.1Pa，时间为3～8h。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，从室温升温至所述真空预烧结的温度的升温速率为1～8℃/min。

5.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述热压烧结的温度为1200～1450℃，压力为130～170t，保温保压时间为5～13h。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，从室温升温至所述热压烧结的温度的升温速率为1～7℃/min，从无压升压至所述热压烧结的压力的升压速率为1～10t/min。

7.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述铌粉和五氧化二铌粉的粒径独立地≤0.05mm。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述混合包括依次进行的机械振动筛网过筛和混料机混合；所述机械振动筛网过筛为从上到下依次过35目筛网、60目筛网、80目筛网、100目筛网和120目筛网；所述混料机混合的转速为15～30rpm，时间为2～8h。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述球磨所用研磨球的球径为5～40mm，球料比为1:1～2，球磨的转速为10～25rpm，球磨的时间为1～6h。

10.权利要求1～9任一项所述的制备方法所得低电阻率五氧化二铌热压靶材，其组分包括一氧化铌和二氧化铌。