[发明专利]一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法

权利要求书

1.一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置，其特征在于，包括控制台、供氧设备、微波发生器、连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板，

所述连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板位于带有开口的密闭容器中，所述控制台、供氧设备和微波发生器位于所述带有开口的密闭容器外；

所述微波发生器通过连接波导管与微波加热器连接；

所述垫板位于横向移动导轨表面；所述垫板为干燥垫板或脱脂垫板；

所述微波加热器和红外加热设备设置在横向移动导轨的上方。

2.根据权利要求1所述的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，其特征在于，所述脱脂垫板包括上板、下板和垫球，所述垫球位于所述上板和下板之间且可转动。

3.根据权利要求1或2所述的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，其特征在于，所述干燥垫板的材质为石膏，所述脱脂垫板的材质为树脂。

4.根据权利要求2所述的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，其特征在于，所述垫球的材质为耐高温陶瓷。

5.根据权利要求4所述的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，其特征在于，所述垫球的材质为氧化锆陶瓷。

6.根据权利要求1所述的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，其特征在于，所述红外加热设备包括红外加热灯组和红外测温仪。

7.一种ITO靶材坯体干燥脱脂方法，其特征在于，利用权利要求1～6任一项所述的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，包括以下步骤：

将注浆成型的ITO靶材坯体放置到干燥垫板上，装入所述密闭容器中，启动微波发生器和微波加热器，同时启动横向移动导轨，进行微波干燥，得到微波干燥后的坯体；

关闭微波发生器和微波加热器，启动红外加热设备，保持横向移动导轨运行，进行红外干燥，得到干燥后的坯体；

将所述干燥后的坯体取出，将所述干燥垫板替换为脱脂垫板，再将干燥后的坯体装入所述密闭容器中，同时启动供氧设备、红外加热设备和横向移动导轨进行脱脂。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述微波干燥的微波频率为2.4～2.6GHz，时间为1～2h，所述微波干燥时横向移动导轨的往复频率为1～3次/min。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述红外干燥的温度为70～90℃，时间为3～5h，所述红外干燥时横向移动导轨的往复频率为1～3次/min。

10.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述脱脂的氧通量为100～140L/min，加热温度为400～500℃，时间为2～4h。