[发明专利]一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法

说明书

本发明提供了一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法，属于靶坯干燥领域。本发明提供的装置，利用了微波加热器和红外加热设备，使用了微波干燥和红外干燥混合干燥的方法，提高干燥的速率；横向移动导轨使靶坯在干燥过程中可以横向往复匀速运动，从而达到均匀干燥的目的，避免了微波干燥或红外干燥不均匀导致靶坯开裂的情况；且本发明所提供的装置是干燥脱脂一体炉，在同一个炉子可以同时完成干燥和脱脂两道工艺，简化了工艺，节省了工厂场地设备的投入。

技术领域

本发明涉及靶坯干燥技术领域，尤其涉及一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法。

背景技术

近年来，随着镀膜技术的日益成熟，人们对靶材的需求愈来愈大，同时对靶材的品质要求也越来越苛刻，ITO靶材作为显示镀膜过程中必不可少的材料，其需求也日渐增大。

目前，ITO靶材的制备工艺有冷压烧结法、热等静压法、热压法和有氧烧结法。传统的冷压烧结工艺，得不到高密度的ITO靶材，无法满足生产要求。热等静压工艺包套难度大，设备投资大且生产效率较低。而用热压法制备ITO靶材时，对热压设备的热应力场、温度场要求高，烧结过程中容易发生热应力开裂。因此，有氧烧结法较其他方法是一种比较理想的制备工艺，较其他制备方法，流程简单，设备投入小，适合大批量生产，但其也有些许工艺有待改进，注浆成型得到的ITO靶坯含水量在15％左右，干燥后的坯体收缩率在3％左右，传统干燥工艺就是将靶坯放入恒温恒湿的环境中进行自然干燥，这种干燥工艺干燥周期长，往往需要80小时左右干燥，且会出现靶坯干裂的情况。

中国专利CN108640674A公开了一种恒温恒湿快速干燥ITO靶材坯体的方法，该方法将靶材进行分步干燥，来缩短干燥时间，其较传统干燥工艺时间有所缩短，但仍需要两天左右时间进行干燥，其干燥时间仍无法满足工厂大规模生产，且干燥完还需再转移到另外的脱脂炉中进行脱脂处理。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法。本发明提供的ITO靶材坯体干燥脱脂装置不仅可以大大缩短干燥时间，提高干燥靶坯的成品率，且可进行脱脂，将干燥脱脂工艺一体化，简化了工艺，节约了成本。

为了实现上述发明目的，本发明提供以下技术方案：

本发明提供了一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置，包括控制台、供氧设备、微波发生器、连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板，

所述连接波导管、微波加热器、红外加热设备、横向移动导轨和垫板位于带有开口的密闭容器中，所述控制台、供氧设备和微波发生器位于所述带有开口的密闭容器外；

所述微波发生器通过连接波导管与微波加热器连接；

所述垫板位于横向移动导轨表面；所述垫板为干燥垫板或脱脂垫板；

所述微波加热器和红外加热设备设置在横向移动导轨的上方。

优选的，所述脱脂垫板包括上板、下板和垫球，所述垫球位于所述上板和下板之间且可转动。

优选的，所述干燥垫板的材质为石膏，所述脱脂垫板的材质为树脂。

优选的，所述垫球的材质为耐高温陶瓷。

优选的，所述垫球的材质为氧化锆陶瓷。

优选的，所述红外加热设备包括红外加热灯组和红外测温仪。

本发明还提供了一种ITO靶材坯体干燥脱脂方法，利用上述技术方案所述的ITO靶材坯体干燥脱脂装置，包括以下步骤：

将注浆成型的ITO靶材坯体放置到干燥垫板上，装入所述密闭容器中，启动微波发生器和微波加热器，同时启动横向移动导轨，进行微波干燥，得到微波干燥后的坯体；