[发明专利]掩膜板的清洁装置、清洁系统及清洁方法

权利要求书

1.一种掩膜板的清洁装置，其特征在于：包括清洁棒、支架、外壳、推杆以及驱动机构；

所述清洁棒包括棒体和粘头，所述粘头设置于所述棒体的一端；

所述外壳为两端开口的中空筒，所述外壳固定于所述支架上，所述清洁棒至少部分容纳于所述外壳内且与所述外壳相分离；

所述推杆的一端与所述棒体远离所述粘头的一端连接，所述推杆的另一端与所述驱动机构的动力输出端连接，所述推杆用于在所述驱动机构的驱动下推动所述清洁棒相对所述外壳移动，使得所述粘头、或者所述粘头和所述棒体的一部分伸出所述外壳。

2.根据权利要求1所述的掩膜板的清洁装置，其特征在于：所述推杆包括推杆本体和推杆连接部，所述推杆本体容纳于所述外壳内且与所述外壳相分离，所述推杆本体与所述棒体远离所述粘头的一端连接，所述外壳一端侧壁设置有滑孔，所述推杆连接部从所述滑孔伸出，所述推杆连接部与所述驱动机构的动力输出端连接。

3.根据权利要求2所述的掩膜板的清洁装置，其特征在于，所述掩膜板的清洁装置还包括弹簧，所述外壳内固定设置有挡板，所述挡板中开设有供所述清洁棒穿过的通孔，所述弹簧设置于所述挡板与所述推杆本体之间。

4.根据权利要求2所述的掩膜板的清洁装置，其特征在于，所述驱动机构包括连接杆、丝杆和电机，

所述电机的动力输出轴与所述丝杆的一端固定连接，所述丝杆设置有外螺纹，所述连接杆的一端设置有与所述外螺纹相适配的内螺纹孔，所述连接杆远离所述内螺纹孔的一端作为所述驱动机构的动力输出端。

5.根据权利要求4所述的掩膜板的清洁装置，其特征在于，所述丝杆的两端均设置有挡止部。

6.根据权利要求4所述的掩膜板的清洁装置，其特征在于，所述连接杆远离所述内螺纹孔的一端延伸形成嵌合连接部，所述嵌合连接部设置有容纳腔，所述外壳靠近所述滑孔一端位于所述容纳腔内，所述嵌合连接部与所述推杆连接部连接。

7.根据权利要求6所述的掩膜板的清洁装置，其特征在于，所述外壳靠近所述滑孔的一端设置有壳盖，所述壳盖位于所述容纳腔内且与所述外壳可拆卸连接。

8.一种清洁系统，其特征在于，所述清洁系统包括控制器、移动机构以及如权利要求1-7任一项所述的掩膜板的清洁装置；

所述移动机构的控制端与所述控制器通信连接，所述移动机构的移动端与所述掩膜板的清洁装置中的支架固定连接，所述移动机构用于在所述控制器的控制下，将所述掩膜板的清洁装置移动至掩膜板的上方；

所述掩膜板的清洁装置中驱动机构的控制端与所述控制器通信连接，所述驱动机构用于在所述控制器的控制下，移动位于所述掩膜板上方的所述掩膜板的清洁装置中清洁棒的粘头，使得所述粘头与所述掩膜板接触。

9.根据权利要求8所述的清洁系统，其特征在于，还包括：

清洁棒的清洁装置，包括清洁带和动力轮组；所述清洁带套设于所述动力轮组外围，用于在所述动力轮组的驱动下，对移动至设计位置处的所述掩膜板的清洁装置的粘头进行清洁。

10.一种清洁方法，其特征在于，采用如权利要求8～9中任一项所述的清洁系统，所述清洁方法包括：

在掩膜板清洁模式下，控制所述移动机构将掩膜板的清洁装置移动至掩膜板的上方；所述清洁系统包括所述掩膜板的清洁装置；

控制位于所述掩膜板上方的所述掩膜板的清洁装置中的驱动机构，移动所述掩膜板的清洁装置中清洁棒的粘头，使得所述粘头与所述掩膜板接触。

11.根据权利要求10所述的清洁方法，其特征在于，还包括：

在清洁棒清洁模式下，控制所述移动机构将所述掩膜板的清洁装置移动至清洁棒的清洁装置的上方；所述清洁系统还包括所述清洁棒的清洁装置；

控制位于所述清洁棒的清洁装置上方的所述驱动机构，移动所述清洁棒的粘头到设计位置处，以使所述清洁棒的粘头与所述清洁带相接触；通过所述动力轮组带动所述清洁带转动。