[发明专利]掩膜板的清洁装置、清洁系统及清洁方法

说明书

本申请提供了一种掩膜板的清洁装置、清洁系统和清洁方法。该掩膜板的清洁装置包括：清洁棒、支架、外壳、推杆以及驱动机构；清洁棒包括棒体和粘头，粘头设置于棒体的一端；外壳为两端开口的中空筒，外壳固定于支架上，清洁棒内置于外壳内部；推杆的一端与棒体远离粘头的一端连接，推杆的另一端与驱动机构的动力输出端连接，推杆在驱动机构的驱动下推动清洁棒相对外壳进行上下移动，使得粘头、或者粘头和棒体的一部分伸出外壳。本申请实现了通过粘头的粘性来修复掩膜板上的各种形状和种类的污染物，保证金属掩膜板的洁净，能有效提高产品良率。

技术领域

本申请涉及OLED显示技术领域，具体而言，涉及一种掩膜板的清洁装置、清洁系统及清洁方法。

背景技术

AMOLED(Active-Matrix Organic Light-Emitting Diode，有源矩阵有机发光二极体)显示屏广泛用于智能手机、平板电脑、电脑和电视等终端产品。在AMOLED蒸镀工艺中，保证金属掩膜板的洁净度对产品的良率提升至关重要。

目前，为保持金属掩膜板的洁净度，可以通过激光修复掩膜板表面的污染物Particle，例如清除金属掩膜板表面的灰尘或者颗粒等。但是由于金属掩膜板在长期循环使用过程中，且所处环境较复杂时，会导致掩膜板表面污染物Particle的形状和种类较为复杂，只通过单一的激光功能来修复效果并不理想，从而影响产品的良率提升。

发明内容

本申请针对现有方式的缺点，提出一种掩膜板的清洁装置、清洁系统及清洁方法，用以解决现有技术存在掩膜板修复效果不理想的技术问题。

第一个方面，本申请实施例提供了一种掩膜板的清洁装置，包括清洁棒、支架、外壳、推杆以及驱动机构；

清洁棒包括棒体和粘头，粘头设置于棒体的一端；

外壳为两端开口的中空筒，外壳固定于支架上，清洁棒至少部分容纳于外壳内且与外壳相分离；

推杆的一端与棒体远离粘头的一端连接，推杆的另一端与驱动机构的动力输出端连接，推杆用于在驱动机构的驱动下推动清洁棒相对外壳移动，使得粘头、或者粘头和棒体的一部分伸出外壳。

在其中一个实施例中，推杆包括推杆本体和推杆连接部，推杆本体容纳于外壳内且与外壳相分离，推杆本体与棒体远离粘头的一端连接，外壳一端侧壁设置有滑孔，推杆连接部从滑孔伸出，推杆连接部与第一驱动机构的动力输出端连接。

在其中一个实施例中，所述掩膜板的清洁装置还包括弹簧。

外壳内固定设置有挡板，挡板中开设有供清洁棒穿过的通孔，弹簧设置于挡板与推杆本体之间。

在其中一个实施例中，驱动机构包括连接杆、丝杆和电机，

电机的动力输出轴与丝杆的一端固定连接，丝杆设置有外螺纹，连接杆的一端设置有与外螺纹相适配的内螺纹孔，连接杆远离内螺纹孔的一端作为驱动机构的动力输出端。

在其中一个实施例中，丝杆的两端均设置有挡止部。

在其中一个实施例中，连接杆远离内螺纹孔的一端延伸形成嵌合连接部，嵌合连接部设置有容纳腔，外壳靠近滑孔一端位于容纳腔内，嵌合连接部与推杆连接部连接。

在其中一个实施例中，外壳靠近滑孔的一端设置有壳盖，壳盖位于容纳腔内且与外壳可拆卸连接。

第二个方面，本申请实施例提供了一种清洁系统，清洁系统包括控制器、移动机构以及如上述的掩膜板的清洁装置；

移动机构的控制端与控制器通信连接，移动机构的移动端与掩膜板的清洁装置中的支架固定连接，移动机构用于在控制器的控制下，将掩膜板的清洁装置移动至掩膜板的上方；