[发明专利]一种基板运送用机械臂

说明书

本发明公开了一种基板运送用机械臂，涉及基板运送技术领域，包括动力控制装置和设置在动力控制装置上用于运送基板的机械臂，还包括：机械臂的数量为两个；以及安装板，安装板安装在动力控制装置上，且两个机械臂安装在安装板远离动力控制装置的一侧；以及调节机构、斜板和稳定机构，两个斜板的顶部均设置有多个稳定机构；本发明调节机构以转动的方式调节两个机械臂之间的间距，用于放置不同大小的基板，节省机械臂的数量，且调节方便，两个机械臂通过调节机构在间距调节时，两个机械臂在稳定机构上进行移动，两个机械臂在通过调节机构调节后，稳定机构自动上移支撑在基板的底部。

技术领域

本发明涉及基板运送技术领域，具体为一种基板运送用机械臂。

背景技术

TFT基板制作过程中，基板需要完成清洗、成膜、曝光显影等不同道别的制程，这些制程需要在不同的机台内完成，在这一系列过程中，基板需要不断的通过机械臂进行机台间和机台内部的搬送。

TFT基板厚度通常是比较薄的，机械臂承载基板时，基板与机械臂的接触面减小，使用过程中常常发生因接触面减小摩擦力不足造成基板在机械臂上位置偏移，发生破片，同时，在对不同大小的基本进行运输时，通常是增加机械臂的数量来解决，但是，这种方式，不仅耗时耗力，且需要很多的机械臂，为此需要进行改进。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种基板运送用机械臂，解决了背景技术中提到的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种基板运送用机械臂，包括动力控制装置和设置在动力控制装置上用于运送基板的机械臂，还包括：

所述机械臂的数量为两个；以及

安装板，所述安装板安装在动力控制装置上，且两个机械臂安装在安装板远离动力控制装置的一侧；以及

调节机构，所述调节机构设置在安装板远离动力控制装置的一侧上，且两个机械臂安装在调节组件机构上，所述调节机构以转动的方式调节两个机械臂之间的间距，用于放置不同大小的基板；以及

斜板，所述斜板为两个，且两个斜板也均固定在安装板远离动力控制装置的一侧，所述斜板的顶部抵在机械臂的底部；以及

稳定机构，两个斜板的顶部均设置有多个稳定机构，且两个机械臂通过调节机构在间距调节时，两个机械臂在稳定机构上进行移动，两个机械臂在通过调节机构调节后，稳定机构自动上移支撑在基板的底部。

优选的，所述调节机构包括：

槽体，所述槽体开设在安装板远离动力控制装置的一侧上，且槽体的两端均呈封闭设置；以及

通孔，所述通孔开设在槽体的一个端壁上，且通孔横向贯穿安装板；以及

转动组件，所述转动组件设置在槽体内；以及

限制组件，所述限制组件设置在转动组件与槽体之间，且转动组件通过限制组件安装在槽体内。

优选的，所述转动组件包括：

螺杆，所述螺杆的一端转动安装在槽体另一个端壁上，且螺杆的另一端经通孔伸出安装板，所述螺杆位于槽体内的表面上开设有两段旋向相反的外螺纹；以及

螺套，所述螺套为两个设置，且两个螺套分别螺合在螺杆的两段外螺纹上，所述限制组件安装在螺套后端与槽体侧壁之间，且限制组件用于限制两个螺套的圆周运动。

优选的，所述限制组件包括：

滑块，两个螺套的后端均固定有滑块；以及

滑槽，所述滑槽开设在槽体的侧壁上，且滑块的后端滑动安装在滑槽内。

优选的，两个斜板在两个机械臂的下方呈交叉设置。