[发明专利]测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法

权利要求书

1.一种不良状况判定单元，所述不良状况判定单元的特征在于，具备：

测定测头，其具备：测针，其具有与被测定物接触的接触部；一个以上的检测元件，所述一个以上的检测元件能够检测该接触部的移动；以及信号处理部，其对从所述一个以上的检测元件的输出获得的生成信号进行处理，来输出触碰信号；

不良状况判定部，其在所述被测定物不与所述接触部接触的状态下，将与所述生成信号对应的一个以上的判定信号同规定的阈值进行比较，如果任一个所述判定信号大于该规定的阈值，则判定为存在不良状况；以及

判定结果输出部，其输出该不良状况判定部的判定结果，

其中，所述测定测头还具备：测头外壳，其能够将所述测针支承于轴心上；以及一个以上的支承构件，所述一个以上的支承构件呈旋转对称形状，沿该测头外壳的轴向配置，容许所述测针的姿势变化，

在至少一个所述支承构件的能够变形的臂部，四个所述检测元件配置于四重对称的位置，

所述判定信号设为固定差分值，所述固定差分值是所述生成信号与规定的固定值之差，

所述规定的阈值设为与该固定差分值对应地决定的固定阈值，

所述不良状况判定部分别将该固定差分值与该固定阈值进行比较。

2.根据权利要求1所述的不良状况判定单元，其特征在于，

在所述信号处理部的前级具备信号放大部，所述信号放大部将所述检测元件的输出分别进行放大，

所述生成信号设为该信号放大部的放大信号。

3.根据权利要求2所述的不良状况判定单元，其特征在于，

在所述信号放大部与所述信号处理部之间具备偏移校正部，所述偏移校正部对所述放大信号进行滤波。

4.根据权利要求1所述的不良状况判定单元，其特征在于，

所述测定测头的不良状况判定单元设置有：信号放大部，其对所述检测元件的输出分别进行差动放大；以及反馈型的偏移校正部，其与该信号放大部的输入端及输出端分别连接，

所述生成信号设为从该偏移校正部输出的要在所述信号放大部中与所述检测元件的输出相减的偏移信号。

5.根据权利要求4所述的不良状况判定单元，其特征在于，

在所述偏移校正部与所述信号放大部之间具备D/A变换器，所述D/A变换器将该偏移校正部的输出分别变换为模拟信号，在该信号放大部与所述信号处理部之间具备A/D变换器，所述A/D变换器将该信号放大部的输出分别变换为数字信号，

从所述信号放大部向所述偏移校正部输入的输入信号设为经由了所述A/D变换器的数字放大信号，

所述生成信号设为要经由所述D/A变换器向所述信号放大部输入的数字偏移信号，

所述信号处理部、所述偏移校正部以及所述不良状况判定部构成数字信号处理部。

6.根据权利要求1所述的不良状况判定单元，其特征在于，

所述检测元件设为应变片。

7.根据权利要求1所述的不良状况判定单元，其特征在于，

所述规定的固定值设为在所述检测元件被嵌入于所述测定测头时最初获得的生成信号。

8.根据权利要求1所述的不良状况判定单元，其特征在于，

所述规定的阈值设为针对每个所述判定信号而不同的值。

9.根据权利要求1所述的不良状况判定单元，其特征在于，

针对一个所述判定信号设置有两个以上的所述规定的阈值，

在所述判定结果输出部中，所述不良状况的等级是以两级以上输出的。

10.根据权利要求1所述的不良状况判定单元，其特征在于，

所述判定结果输出部具备能够判别所述判定结果的显示部。