[发明专利]测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法

说明书

本发明提供一种测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法。一种测定测头的不良状况判定单元，该测定测头具备：测针，其具有与被测定物接触的接触部；四个检测元件，其能够检测接触部的移动；以及信号处理部，其对从四个检测元件的输出获得的生成信号进行处理，来输出触碰信号，该测定测头的不良状况判定单元具备：不良状况判定部，其在被测定物不与接触部接触的状态下，将与生成信号对应的四个判定信号同规定的阈值进行比较，如果任一个判定信号大于规定的阈值，则判定为存在不良状况；以及判定结果输出部，其输出不良状况判定部的判定结果。由此，能够通过简单的结构来确保测定的可靠性。

相关申请的交叉引用

在2019年6月7日提交的日本专利申请No.2019-107515的公开内容所包含的说明书、附图以及权利要求书的全部内容通过引用合并于此。

技术领域

本发明涉及一种测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法，特别是涉及一种能够通过简单的结构来确保测定的可靠性的测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法。

背景技术

以往提出了专利文献1所示那样的测定测头。该测定测头具备：测针，其具有与被测定物接触的接触部；测头外壳，其能够将测针支承于轴心上；检测元件，其能够检测接触部的移动；以及信号处理电路，其对检测元件的输出进行处理。信号处理电路对从检测元件输出的传感器信号进行处理，从而将触碰信号输出到外部。通过该触碰信号，能够准确地测定被测定物的形状。

发明内容

发明要解决的问题

然而，在日本专利6212148号公报所示那样的测定测头中，即使在内部产生对测定精度带来影响那样的不良状况，也有可能没有注意到该不良状况而导致继续使用。于是，之后才知晓在测定结果中存在不良状况，使得测定结果浪费。认为这种情形的结果可能会招致测定测头的测定的可靠性降低。

本发明是为了解决所述的问题点而完成的，其课题在于提供一种能够通过简单的结构来确保测定的可靠性的测定测头的不良状况判定单元及其不良状况判定方法。

用于解决问题的方案

本申请的第1发明所涉及的发明通过下面的结构解决了所述课题，即，一种测定测头的不良状况判定单元，所述测定测头具备：测针，其具有与被测定物接触的接触部；一个以上的检测元件，所述一个以上的检测元件能够检测该接触部的移动；以及信号处理部，其对从所述一个以上的检测元件的输出获得的生成信号进行处理，来输出触碰信号，所述测定测头的不良状况判定单元具备：不良状况判定部，其在所述被测定物不与所述接触部接触的状态下，将与所述生成信号对应的一个以上的判定信号同规定的阈值进行比较，如果任一个所述判定信号大于该规定的阈值，则判定为存在不良状况；以及判定结果输出部，其输出该不良状况判定部的判定结果。

本申请的第2发明所涉及的发明为，在所述信号处理部的前级具备信号放大部，所述信号放大部将所述检测元件的输出分别进行放大，将所述生成信号设为该信号放大部的放大信号。

本申请的第3发明所涉及的发明为，在所述信号放大部与所述信号处理部之间具备偏移校正部，所述偏移校正部对所述放大信号进行滤波。

本申请的第4发明所涉及的发明为，所述测定测头的不良状况判定单元设置有：信号放大部，其对所述检测元件的输出分别进行差动放大；以及反馈型的偏移校正部，其与该信号放大部的输入端及输出端分别连接，将所述生成信号设为从该偏移校正部输出的要在所述信号放大部中与所述检测元件的输出相减的偏移信号。