[发明专利]柔性Micro-LED显示面板及其制作方法有效
申请号: | 202010507058.0 | 申请日: | 2020-06-05 |
公开(公告)号: | CN111710691B | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 李柱辉 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L27/12;H01L33/48;H01L33/54;H01L33/62 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 徐世俊 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 micro led 显示 面板 及其 制作方法 | ||
本发明提供一种柔性Micro‑LED显示面板及其制作方法,柔性Micro‑LED显示面板包括第一衬底基板、薄膜晶体管阵列层、第一连接电极层、第二连接电极层,设置于所述第一连接电极层上、多个Micro‑LED芯片、柔性封装层以及设置于柔性封装层上的第二衬底基板,第一衬底基板和所述第二衬底基板均为柔性基板,通过在覆盖Micro‑LED芯片的柔性封装层上设置第二衬底基板来使柔性显示面板的中性层位于薄膜晶体管阵列层上,从而降低断线风险,实现Micro‑LED显示面板柔性显示。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性Micro-LED显示面板及其制作方法。
背景技术
微发光二极管(Micro-Light Emitting Diode,Micro-LED)显示面板因兼具有机发光二极管显示面板(Organic Light-Emitting Diode,OLED)轻薄、可柔、抗摔、可折叠等优点,同时还具有寿命长、超低功耗、高响应速度、高透明度等优势,被视为下一代最具发展潜力的新型显示技术,非常符合未来的发展趋势。
目前已有多家厂商研发的刚性Micro-LED显示面板展出,然而柔性Micro-LED显示面板却因技术上存在很多缺陷,离量产还有一段距离;柔性Micro-LED显示面板的主要难点体现在低良率上,主要表现在Micro-LED芯片巨量转移及容易发生断线等方面,从而导致成产成本较高。
综上所述,需要提供一种新的柔性Micro-LED显示面板及其制作方法,来解决上述技术问题。
发明内容
本发明提供的柔性Micro-LED显示面板及其制作方法,解决了现有的Micro-LED显示面板不易弯折且容易发生断线,导致产品良率低的技术问题。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明实施例提供一种柔性Micro-LED显示面板,包括:
阵列基板,包括第一衬底基板以及设置于所述第一衬底基板上的薄膜晶体管阵列层;
第一连接电极层,设置于所述薄膜晶体管阵列层上,并与所述薄膜晶体管阵列层电连接;
第二连接电极层,设置于所述第一连接电极层上;
多个Micro-LED芯片,设置于所述第二连接电极层上,所述Micro-LED芯片经由所述第一连接电极层和所述第二连接电极层连接至所述薄膜晶体管阵列层;
柔性封装层,覆盖所述Micro-LED芯片;以及
第二衬底基板,设置于所述柔性封装层上;
其中,所述第一衬底基板和所述第二衬底基板均为柔性基板,所述第二衬底基板用于控制所述柔性显示面板的中性层位于所述薄膜晶体管阵列层上。
在本发明实施例提供的柔性Micro-LED显示面板中,所述第一衬底基板和所述第二衬底基板所采用的材料为CPI。
在本发明实施例提供的柔性Micro-LED显示面板中,所述阵列基板还包括:
阻隔层,设置于所述第一衬底基板上;
遮光层,设置于所述阻隔层上;
缓冲层,覆盖所述遮光层和所述阻隔层;
有源层,设置于所述缓冲层上,所述遮光层和所述有源层相对设置;
栅极绝缘层,设置于所述有源层上;
栅极层,设置于所述栅极绝缘层上;
层间介质层,覆盖所述栅极层、所述有源层及所述缓冲层上;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的