[发明专利]一种电镀设备有效
申请号: | 202010507504.8 | 申请日: | 2020-06-05 |
公开(公告)号: | CN111485276B | 公开(公告)日: | 2021-10-12 |
发明(设计)人: | 莫雷清;孙彬;简永幸 | 申请(专利权)人: | 厦门通富微电子有限公司 |
主分类号: | C25D17/02 | 分类号: | C25D17/02;C25D17/00;C25D7/12 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 361000 福建省厦门市中国(福建)自由贸易试验区*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电镀 设备 | ||
1.一种电镀设备,设置有电镀槽,其特征在于,所述电镀槽上设置有电连接单元,
所述电镀设备电连接单元,其特征在于,包括:顶部开口的溶液槽,所述溶液槽内设置有导电件,所述导电件具有电接触部,所述电接触部低于所述顶部开口;
还包括保护液输入口和保护液流出口,所述保护液输入口用于向所述溶液槽输入保护液,所述保护液流出口用于排出所述溶液槽内的所述保护液;所述保护液输入口连接有输入管,所述输入管连接有流量传感器,所述保护液流出口连接有排液管,所述排液管连接有流量控制阀;所述排液管的排液口与所述电镀槽连通,以使所述排液管排出的保护液可流入所述电镀槽内;
还包括支撑架,所述支撑架包括设置在所述溶液槽内用于固定所述导电件的第一部分;和贯穿所述溶液槽设置在所述溶液槽外部的第二部分,所述第二部分用于固定支撑所述溶液槽,通过所述支撑架将所述导电件设置为距离所述溶液槽的槽底一定高度;
其中,所述保护液输入口为花洒式喷头。
2.根据权利要求1所述的电镀设备,其特征在于,所述保护液输入口朝向所述电接触部设置,由所述保护液输入口输入的所述保护液可至少部分流经所述电接触部。
3.根据权利要求1或2所述的电镀设备,其特征在于,所述电接触部为设置于所述导电件顶部的导电面或导电触点。
4.根据权利要求1所述的电镀设备,其特征在于,所述支撑架为导电材料制成。
5.根据权利要求1所述的电镀设备,其特征在于,所述溶液槽为绝缘槽。
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