[发明专利]一种清理塑封模具中模盒型腔内残留物的方法有效
申请号: | 202010514024.4 | 申请日: | 2020-06-08 |
公开(公告)号: | CN111660472B | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 李彦文;雷锦浩 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
主分类号: | B29C33/72 | 分类号: | B29C33/72;H01L21/56 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 姚咏华 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清理 塑封 模具 中模盒型腔内 残留物 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种清理塑封模具中模盒型腔内残留物的方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1,先将塑封模具中的模盒放置在维修车上,之后通过维修车将塑封模具中的模盒移至通风位置自然降温,使模盒的温度至120~130℃;
步骤2,用乙二醇乙醚浸泡降温后的模盒型腔18~20s,乙二醇乙醚没过塑封模具中的模盒型腔,在模盒型腔内留存有乙二醇乙醚时,用铜刷搓刷模盒型腔内的残留物;
步骤3,将模盒型腔内的乙二醇乙醚与搓刷后的残留物清理干净,完成对塑封模具中模盒型腔内残留物的清理。
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