[发明专利]一种电子束采集装置

权利要求书

1.一种电子束采集装置，其特征在于，包括：发射组件、偏转组件、接收组件及采集组件，所述偏转组件设置在所述发射组件与所述接收组件之间，所述采集组件设置在所述接收组件远离所述偏转组件的一侧，所述接收组件上设置有接收孔，所述采集组件与所述接收孔对应设置；

所述发射组件用于发射电子束；

所述偏转组件用于偏转所述电子束，使所述电子束在所述接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑；

所述采集组件用于检测所述束斑穿过所述接收孔后的电流，以获得所述束斑的束流值。

2.根据权利要求1所述的电子束采集装置，其特征在于，所述电子束采集装置还包括固定架，所述固定架上设置有固定槽，所述接收组件设置在所述固定槽内，所述固定槽上设置有连接孔，所述接收孔与所述连接孔连通，所述采集组件设置在所述连接孔远离所述接收孔的一侧。

3.根据权利要求2所述的电子束采集装置，其特征在于，所述固定槽的底壁上设置有多个散热槽，所述散热槽用于装载散热介质，以给所述接收组件散热。

4.根据权利要求2所述的电子束采集装置，其特征在于，所述接收组件包括固定件及接收件，所述接收件设置在所述固定件与所述固定槽之间，所述固定件用于将所述接收件固定在所述固定槽内，所述接收孔设置在所述接收件上，所述固定件上开设有开口，所述接收孔及部分的所述接收件与所述开口对应设置。

5.根据权利要求4所述的电子束采集装置，其特征在于，所述接收件为钨铜合金板。

6.根据权利要求2所述的电子束采集装置，其特征在于，所述采集组件包括绝缘部、收集电极及检测电路，所述绝缘部包覆于所述收集电极的外表面，所述绝缘部上设置有过渡孔，所述过渡孔与所述连接孔连通，所述检测电路与所述收集电极电连接；

所述收集电极用于汇流所述束斑穿过所述接收孔的所述电流；

所述检测电路用于将电流转换为电压后输出，以获得所述束斑的束流值。

7.根据权利要求6所述的电子束采集装置，其特征在于，所述采集组件还包括检测电路，所述检测电路包括放大器及检测电阻，所述检测电阻分别与所述放大器的正极输入端及所述放大器的负极输入端电连接，所述收集电极与所述正极输入端电连接。

8.根据权利要求7所述的电子束采集装置，其特征在于，所述检测电路还包括增益电阻，所述增益电阻与所述放大器的第一增益端及所述放大器的第二增益端电连接。

9.根据权利要求1所述的电子束采集装置，其特征在于，所述电子束采集装置还包括安装架、驱动件及连接架，所述连接架与所述安装架活动连接，所述采集组件及所述接收组件安装在所述连接架上，所述驱动件安装在所述安装架上与所述连接架传动连接，所述驱动件用于驱动所述连接架向靠近或远离所述偏转组件的方向运动。

10.根据权利要求1所述的电子束采集装置，其特征在于，所述电子束采集装置还包括散热件，所述散热件设置在所述采集组件处，所述偏转组件还用于将所述电子束偏转至所述散热件上，使所述散热件给所述电子束散热。