[发明专利]一种电子束采集装置

说明书

本发明的实施例提供了一种电子束采集装置，涉及电子束加工技术领域。电子束采集装置包括发射组件、偏转组件、接收组件及采集组件，偏转组件设置在发射组件与接收组件之间，采集组件设置在接收组件远离偏转组件的一侧，接收组件上设置有接收孔，采集组件与接收孔对应设置；发射组件用于发射电子束；偏转组件用于偏转电子束，使电子束在接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑；采集组件用于检测束斑穿过接收孔后的电流，以获得光斑的束流值。在本发明中，电子束在偏转组件的偏转下依次在接收组件上形成多个束斑，采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。

技术领域

本发明涉及电子束加工技术领域，具体而言，涉及一种电子束采集装置。

背景技术

电子束具有束斑直径小、能量密度高、精确可控等优点，在航空航天等领域的大型复杂精密结构件的焊接和增材制造，以及多孔结构医疗植入体制造等方面具有非常广泛的应用。在电子束加工过程中，电子束斑形貌、焦点位置及束流功率密度分布是影响电子束加工质量最重要、最直接的因素。通过束流品质检测分析，研究束流品质对加工质量的影响规律，可以帮助操作者快速制定和优化加工工艺参数，这将有助于缩短加工工艺摸索过程，提高产品加工质量和效率。

目前现有技术中，无法精准的采集到电子束的束斑，从而导致对电子束的分析不准确。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种电子束采集装置，其能够采用逐个束斑检测的方式，逐个对束斑进行采样，能够提高束斑的采样精度。

本发明的实施例可以这样实现：

本发明实施例提供了一种电子束采集装置包括：发射组件、偏转组件、接收组件及采集组件，所述偏转组件设置在所述发射组件与所述接收组件之间，所述采集组件设置在所述接收组件远离所述偏转组件的一侧，所述接收组件上设置有接收孔，所述采集组件与所述接收孔对应设置；

所述发射组件用于发射电子束；

所述偏转组件用于偏转所述电子束，使所述电子束在所述接收组件的接收孔周围依次形成多个束斑；

所述采集组件用于检测所述束斑穿过所述接收孔后的电流，以获得所述束斑的束流值。

本发明的可选的实施例中，所述电子束采集装置还包括固定架，所述固定架上设置有固定槽，所述接收组件设置在所述固定槽内，所述固定槽上设置有连接孔，所述接收孔与所述连接孔连通，所述采集组件设置在所述连接孔远离所述接收孔的一侧。

本发明的可选的实施例中，所述固定槽的底壁上设置有多个散热槽，所述散热槽用于装载散热介质，以给所述接收组件散热。

本发明的可选的实施例中，所述接收组件包括固定件及接收件，所述接收件设置在所述固定件与所述固定槽之间，所述固定件用于将所述接收件固定在所述固定槽内，所述接收孔设置在所述接收件上，所述固定件上开设有开口，所述接收孔及部分的所述接收件与所述开口对应设置。

本发明的可选的实施例中，所述接收件为钨铜合金板。

本发明的可选的实施例中，所述采集组件包括绝缘部、收集电极及检测电路，所述绝缘部包覆于所述收集电极的外表面，所述绝缘部上设置有过渡孔，所述过渡孔与所述连接孔连通，所述检测电路与所述收集电极电连接；

所述收集电极用于汇流所述束斑穿过所述接收孔的所述电流；

所述检测电路用于将电流转换为电压后输出，以获得所述束斑的束流值。

本发明的可选的实施例中，所述采集组件还包括检测电路，所述检测电路包括放大器及检测电阻，所述检测电阻分别与所述放大器的正极输入端及所述放大器的负极输入端电连接，所述收集电极与所述正极输入端电连接。