[发明专利]用于高纯碳化硅粉料的一种预制料处理方法

权利要求书

1.用于碳化硅粉料合成的一种预制料处理方法，其特征在于，所述方法包括以下工序：S1配料工序：采用高纯Si粉和高纯C粉颗粒源作为原料，或其中添加少量钽粉或聚四氟乙烯；S2料块预备：选取纯度不低于硅源和碳源的碳化硅晶锭，按一定尺寸进行加工、打磨成块；S3装配工序：对装配室进行抽气充气处理，取数个碳化硅晶锭切割块置于混料罐底部，依次加入硅源、碳源、粉状添加剂，密封混料罐，对装配室进行抽气充气处理，使混料罐扩散进入填装气体；S4 混料工序：按投料量设定球磨转速、运转方式、定时时间进行混料；S5取料工序：将混料依次取出装于密封袋，同时取出其中切割块，核对切割块数量；S6保存工序：将混料和切割块分别密封保存，分别用于碳化硅粉料合成取用和再次混料。

2.根据权利要求1所述的用于碳化硅粉料合成的一种预制料处理方法，其特征在于，S2所述料块预备工序中切割块长度低于混料罐长度的1/10，宽度及高度低于混料罐直径的1/10，打磨切割块棱角，使倒角不低于1mm，选择尺寸为15mm×15mm×40mm、15mm×15mm×15mm。

3.根据权利要求1所述的用于碳化硅粉料合成的一种预制料处理方法，其特征在于，S3所选填充气体为乙醇、氮气、氩气、氢气。

4.根据权利要求1所述的用于碳化硅粉料合成的一种预制料处理方法，其特征在于，S5所述取料工序工具材质为聚四氟乙烯、聚乙烯；取料同时取出碳化硅切割块并核对数目，确保与混料前投入切割块数量一致。

5.根据权利要求1所述的用于碳化硅粉料合成的一种预制料处理方法，其特征在于，S6所述保存工序中切割块表面所粘碳粉硅粉较多时，通过超声清洗、烘干后保存。

6.根据权利要求1所述的用于碳化硅粉料合成的一种预制料处理方法，其特征在于，已混合原料在静置一段时间出现沉降后，重复S1-S6中全部或部分工序，获取均匀混料。