[发明专利]垂直式探针卡及其悬臂式探针

权利要求书

1.一种垂直式探针卡，其特征在于，所述垂直式探针卡包括：

多个导板，沿一高度方向彼此堆叠设置；以及

多个悬臂式探针，定位于多个所述导板，并且每个所述悬臂式探针包含：

一主体段，穿设于多个所述导板内；

两个侧翼段，分别自所述主体段的相反两侧延伸所形成，并且两个所述侧翼段夹持于多个所述导板中的至少两个所述导板；及

一针测段与一固定段，分别自所述主体段于所述高度方向上的两端延伸所形成；所述针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接所述抵接部与所述主体段的一针测悬臂；其中，多个所述悬臂式探针的所述抵接部用来可分离地顶抵于一待测物；

其中，所述针测段在垂直所述高度方向的一长度方向上具有一力臂长度，并且所述抵接部在所述高度方向上与所述主体段相距有小于所述力臂长度的一间距。

2.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，远离多个所述针测段的一个所述导板，其能沿着高度方向或沿着垂直所述高度方向与所述长度方向的一宽度方向穿过多个所述悬臂式探针，而压抵于每个所述悬臂式探针的两个所述侧翼段。

3.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，于每个所述悬臂式探针中，所述固定段包含有呈悬空状的一连接部以及连接所述连接部与所述主体段的一缓冲悬臂；其中，所述垂直式探针卡包含有一转接板，并且多个所述悬臂式探针的所述连接部固定于所述转接板。

4.依据权利要求3所述的垂直式探针卡，其特征在于，在多个所述悬臂式探针的至少一个所述悬臂式探针中，所述抵接部与所述连接部非皆位于所述高度方向上，并且所述抵接部与所述连接部于所述长度方向上间隔有大于所述间距的一错位距离。

5.依据权利要求3所述的垂直式探针卡，其特征在于，在多个所述悬臂式探针的至少一个所述悬臂式探针中，所述抵接部与所述连接部皆位于所述高度方向上，并且当所述连接部顶抵于所述待测物时，所述针测悬臂与所述缓冲悬臂皆弹性地弯曲，以使所述抵接部与所述连接部抵接于所述主体段。

6.依据权利要求3所述的垂直式探针卡，其特征在于，在多个所述悬臂式探针的相邻两个所述悬臂式探针中，其中一个所述悬臂式探针的所述抵接部与所述连接部非皆位于所述高度方向上，而其中另一个所述悬臂式探针的所述抵接部与所述连接部则是皆位于所述高度方向上。

7.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，于每个所述悬臂式探针中，所述针测悬臂沿所述长度方向凹设形成有至少一条狭缝。

8.依据权利要求1所述的垂直式探针卡，其特征在于，于每个所述悬臂式探针中，所述针测段与所述固定段位于所述主体段沿所述高度方向正投影所形成的一投影区域之内。

9.一种垂直式探针卡的悬臂式探针，其特征在于，所述垂直式探针卡的悬臂式探针包括：

一主体段；

两个侧翼段，分别自所述主体段的相反两侧延伸所形成；以及

一针测段与一固定段，分别自所述主体段于一高度方向上的两端延伸所形成；所述针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接所述抵接部与所述主体段的一针测悬臂；

其中，所述针测段在垂直所述高度方向的一长度方向上具有一力臂长度，并且所述抵接部在所述高度方向上与所述主体段相距有小于所述力臂长度的一间距。

10.依据权利要求9所述的垂直式探针卡的悬臂式探针，其特征在于，所述针测段与所述固定段位于所述主体段沿所述高度方向正投影所形成的一投影区域之内。