[发明专利]垂直式探针卡及其悬臂式探针

说明书

本发明公开一种垂直式探针卡及其悬臂式探针，所述悬臂式探针包含一主体段、分别自所述主体段的相反两侧延伸所形成的两个侧翼段及分别自所述主体段于高度方向上的两端延伸所形成的一针测段与一固定段。所述针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接所述抵接部与所述主体段的一针测悬臂。所述针测段在垂直所述高度方向的长度方向上具有一力臂长度，并且所述抵接部在所述高度方向上与所述主体段相距有小于所述力臂长度的一间距。据此，通过所述悬臂式探针的结构设计，以使得悬臂式探针可应用于垂直式探针卡中，据以利于悬臂式探针的植针与维护更换、并降低生产与维修成本。

技术领域

本发明涉及一种探针卡，尤其涉及一种垂直式探针卡及其悬臂式探针。

背景技术

现有的悬臂式探针主要是应用在周边型芯片的测试，但现有悬臂式探针的植针方式较为复杂(如：人工焊针)，并且还需进行线路扇出设计(fan-out)。据此，现有悬臂式探针并不易于植针与维护，进而使得生产与维修成本难以降低。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种垂直式探针卡及其悬臂式探针，能有效地改善现有悬臂式探针所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种垂直式探针卡，其包括多个导板及多个悬臂式探针。多个导板沿一高度方向彼此堆叠设置；多个悬臂式探针定位于多个导板，并且每个悬臂式探针包含一主体段、两个侧翼段及一针测段与一固定段。主体段穿设于多个导板内；两个侧翼段分别自主体段的相反两侧延伸所形成，并且两个侧翼段夹持于多个导板中的至少两个导板；一针测段与一固定段分别自主体段于高度方向上的两端延伸所形成；针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接抵接部与主体段的一针测悬臂；其中，多个悬臂式探针的抵接部用来可分离地顶抵于一待测物；其中，针测段在垂直高度方向的一长度方向上具有一力臂长度，并且抵接部在高度方向上与主体段相距有小于力臂长度的一间距。

优选地，远离多个针测段的一个导板，其能沿着高度方向或沿着垂直高度方向与长度方向的一宽度方向穿过多个悬臂式探针，而压抵于每个悬臂式探针的两个侧翼段。

优选地，于每个悬臂式探针中，固定段包含有呈悬空状的一连接部以及连接连接部与主体段的一缓冲悬臂；其中，垂直式探针卡包含有一转接板，并且多个悬臂式探针的连接部固定于转接板。

优选地，在多个悬臂式探针的至少一个悬臂式探针中，抵接部与连接部非皆位于高度方向上，并且抵接部与连接部于长度方向上间隔有大于间距的一错位距离。

优选地，在多个悬臂式探针的至少一个悬臂式探针中，抵接部与连接部皆位于高度方向上，并且当连接部顶抵于待测物时，针测悬臂与缓冲悬臂皆弹性地弯曲，以使抵接部与连接部抵接于主体段。

优选地，在多个悬臂式探针的相邻两个悬臂式探针中，其中一个悬臂式探针的抵接部与连接部非皆位于高度方向上，而其中另一个悬臂式探针的抵接部与连接部则是皆位于高度方向上。

优选地，于每个悬臂式探针中，针测悬臂沿长度方向凹设形成有至少一条狭缝。

优选地，于每个悬臂式探针中，针测段与固定段位于主体段沿高度方向正投影所形成的一投影区域之内。

本发明实施例也公开一种垂直式探针卡的悬臂式探针，其包括一主体段、两个侧翼段及一针测段与一固定段。两个侧翼段分别自主体段的相反两侧延伸所形成；一针测段与一固定段分别自主体段于一高度方向上的两端延伸所形成；针测段包含呈悬空状的一抵接部以及连接抵接部与主体段的一针测悬臂；其中，针测段在垂直高度方向的一长度方向上具有一力臂长度，并且抵接部在高度方向上与主体段相距有小于力臂长度的一间距。

优选地，针测段与固定段位于主体段沿高度方向正投影所形成的一投影区域之内。