[发明专利]晶圆背面的检测方法、设备和存储介质

权利要求书

1.一种晶圆背面的检测方法，其特征在于，包括：

获取目标图像，所述目标图像是监控装置对晶圆背面的图像进行处理后得到的图像；

对所述目标图像进行处理，得到显示有目标区域的图像，所述目标区域是所述晶圆背面对应的区域；

提取得到所述目标区域的边缘图形；

对所述边缘图形进行直线检测，得到所述边缘图形中的直线图形。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述目标图像进行处理，得到显示有目标区域的图像，包括：

对所述目标图像进行灰度转化，得到灰度目标图像；

对所述灰度目标图像进行二值化处理，得到二值化图像；

对所述二值化图像进行识别，得到所述目标区域；

对所述目标图像中除所述晶圆背面对应的区域以外的其它区域进行遮挡，得到所述显示有目标区域的图像。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对所述二值化图像进行识别，得到所述晶圆背面对应的区域，包括：

通过霍夫圆环变换检测得到所述晶圆的圆心坐标和半径；

根据所述圆心坐标和半径识别得到所述目标区域。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述提取得到所述目标区域的边缘图形，包括：

对所述显示有目标区域的图像进行滤波模糊，得到模糊图像；

对所述模糊图像进行灰度转化，得到灰度模糊图像；

对所述灰度模糊图像进行边缘提取，得到所述边缘图形。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述对所述边缘图形进行直线检测，得到所述边缘图形中的直线图形，包括：

通过霍夫线变换对所述边缘图形进行直线检测，识别得到所述边缘图形中的直线；

对所述直线画线得到所述直线图形。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述对所述灰度图像进行边缘提取，包括：

通过Canny边缘检测对所述灰度模糊图像进行所述边缘提取。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述对所述显示有目标区域的图像进行滤波模糊，包括：

通过高斯模糊对所述显示有目标区域的图像进行所述滤波模糊。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取目标图像，包括：

获取得到实时图像，所述实时图像是所述监控装置拍摄作业中的晶圆得到的图像；

对所述实时图像进行灰度转化，得到灰度实时图像；

对所述灰度实时图像进行识别，得到所述目标图像。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述对所述灰度实时图像进行识别，包括：

通过识别模型对所述灰度实时图像进行识别，所述识别模型是对样本图像使用局部二值模式直方图进行训练得到的。

10.根据权利要求1至9任一所述的方法，其特征在于，所述对所述边缘图形进行直线检测，得到所述边缘图形中的直线图形之后，还包括：

显示所述边缘图形和所述直线图形。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述对所述边缘图形进行直线检测之后，还包括：

若在所述边缘图形中未检测到直线，则存储所述边缘图形。

12.一种计算机设备，其特征在于，所述计算机设备包括处理器和存储器，所述存储器中存储有至少一条指令或者程序，所述指令或者程序由所述处理器加载并执行以实现如权利要求1至11任一所述的晶圆背面的检测方法。

13.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述存储介质中存储有至少一条指令或者程序，所述指令或者程序由处理器加载并执行以实现如权利要求1至11任一所述的晶圆背面的检测方法。