[发明专利]一种磁阻式随机存取存储器在审
申请号: | 202010528241.9 | 申请日: | 2020-06-11 |
公开(公告)号: | CN113809118A | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 李国兴;薛胜元;叶德炜;吴建良 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/24 | 分类号: | H01L27/24;G11C11/16 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 磁阻 随机存取存储器 | ||
1.一种磁阻式随机存取存储器,其特征在于,包含:
第一晶体管以及第二晶体管,设于基底上;
源极线,偶接该第一晶体管的第一源极/漏极区域;以及
第一金属内连线,偶接该第一晶体管的第二源极/漏极区域,其中该第一金属内连线延伸并重叠该第二晶体管。
2.如权利要求1所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第一金属内连线重叠该第一晶体管及该第二晶体管。
3.如权利要求1所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第二晶体管包含:
第三源极/漏极区域;以及
第四源极/漏极区域,其中该第一金属内连线重叠该第一晶体管的该第二源极/漏极区域以及该第二晶体管的该第三源极/漏极区域。
4.如权利要求3所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第一金属内连线包含:
第一端,偶接该第一晶体管的该第二源极/漏极区域;以及
第二端,偶接一磁性隧穿结(magnetic tunneling junction,MTJ)。
5.如权利要求4所述的磁阻式随机存取存储器,其中该磁性隧穿结重叠该第二晶体管的该第三源极/漏极区域。
6.如权利要求4所述的磁阻式随机存取存储器,其中该磁性隧穿结包含:
自由层,偶接该第一金属内连线;
阻障层;以及
固定层,偶接一位线。
7.如权利要求6所述的磁阻式随机存取存储器,另包含第二金属内连线,偶接该磁性隧穿结的该固定层以及该位线。
8.如权利要求7所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第二金属内连线重叠该第二晶体管的该第三源极/漏极区域。
9.一种磁阻式随机存取存储器,其特征在于,包含:
栅极结构,沿着第一方向延伸于基底上;
第一掺杂区以及第二掺杂区,沿着第二方向延伸于该栅极结构两侧;
第一源极/漏极区域,设于该栅极结构一侧的该第一掺杂区上;
第二源极/漏极区域,设于该栅极结构另一侧的该第二掺杂区上;以及
第一金属内连线,重叠该第一源极/漏极区域以及该第二源极/漏极区域。
10.如权利要求9所述的磁阻式随机存取存储器,另包含绝缘区域,设于该第一掺杂区以及该第二掺杂区之间。
11.如权利要求10所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第一金属内连线重叠该第一源极/漏极区域、该绝缘区域以及该第二源极/漏极区域。
12.如权利要求10所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第一金属内连线依据上视角度包含Z字形图案。
13.如权利要求12所述的磁阻式随机存取存储器,其中该Z字形图案包含:
第一部分,沿着该第二方向延伸并重叠该栅极结构以及该第一源极/漏极区域;
第二部分,沿着该第一方向延伸并重叠该绝缘区域;以及
第三部分,沿着该第二方向延伸并重叠该栅极结构以及该第二源极/漏极区域。
14.如权利要求13所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第一部分重叠该栅极结构一侧的该第一源极/漏极区域。
15.如权利要求13所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第三部分重叠该栅极结构另一侧的该第二源极/漏极区域。
16.如权利要求13所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第三部分重叠一磁性隧穿结(magnetic tunneling junction,MTJ)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于联华电子股份有限公司,未经联华电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010528241.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的