[发明专利]一种磁阻式随机存取存储器在审

专利信息
申请号: 202010528241.9 申请日: 2020-06-11
公开(公告)号: CN113809118A 公开(公告)日: 2021-12-17
发明(设计)人: 李国兴;薛胜元;叶德炜;吴建良 申请(专利权)人: 联华电子股份有限公司
主分类号: H01L27/24 分类号: H01L27/24;G11C11/16
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 一种 磁阻 随机存取存储器
【权利要求书】:

1.一种磁阻式随机存取存储器,其特征在于,包含:

第一晶体管以及第二晶体管,设于基底上;

源极线,偶接该第一晶体管的第一源极/漏极区域;以及

第一金属内连线,偶接该第一晶体管的第二源极/漏极区域,其中该第一金属内连线延伸并重叠该第二晶体管。

2.如权利要求1所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第一金属内连线重叠该第一晶体管及该第二晶体管。

3.如权利要求1所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第二晶体管包含:

第三源极/漏极区域;以及

第四源极/漏极区域,其中该第一金属内连线重叠该第一晶体管的该第二源极/漏极区域以及该第二晶体管的该第三源极/漏极区域。

4.如权利要求3所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第一金属内连线包含:

第一端,偶接该第一晶体管的该第二源极/漏极区域;以及

第二端,偶接一磁性隧穿结(magnetic tunneling junction,MTJ)。

5.如权利要求4所述的磁阻式随机存取存储器,其中该磁性隧穿结重叠该第二晶体管的该第三源极/漏极区域。

6.如权利要求4所述的磁阻式随机存取存储器,其中该磁性隧穿结包含:

自由层,偶接该第一金属内连线;

阻障层;以及

固定层,偶接一位线。

7.如权利要求6所述的磁阻式随机存取存储器,另包含第二金属内连线,偶接该磁性隧穿结的该固定层以及该位线。

8.如权利要求7所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第二金属内连线重叠该第二晶体管的该第三源极/漏极区域。

9.一种磁阻式随机存取存储器,其特征在于,包含:

栅极结构,沿着第一方向延伸于基底上;

第一掺杂区以及第二掺杂区,沿着第二方向延伸于该栅极结构两侧;

第一源极/漏极区域,设于该栅极结构一侧的该第一掺杂区上;

第二源极/漏极区域,设于该栅极结构另一侧的该第二掺杂区上;以及

第一金属内连线,重叠该第一源极/漏极区域以及该第二源极/漏极区域。

10.如权利要求9所述的磁阻式随机存取存储器,另包含绝缘区域,设于该第一掺杂区以及该第二掺杂区之间。

11.如权利要求10所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第一金属内连线重叠该第一源极/漏极区域、该绝缘区域以及该第二源极/漏极区域。

12.如权利要求10所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第一金属内连线依据上视角度包含Z字形图案。

13.如权利要求12所述的磁阻式随机存取存储器,其中该Z字形图案包含:

第一部分,沿着该第二方向延伸并重叠该栅极结构以及该第一源极/漏极区域;

第二部分,沿着该第一方向延伸并重叠该绝缘区域;以及

第三部分,沿着该第二方向延伸并重叠该栅极结构以及该第二源极/漏极区域。

14.如权利要求13所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第一部分重叠该栅极结构一侧的该第一源极/漏极区域。

15.如权利要求13所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第三部分重叠该栅极结构另一侧的该第二源极/漏极区域。

16.如权利要求13所述的磁阻式随机存取存储器,其中该第三部分重叠一磁性隧穿结(magnetic tunneling junction,MTJ)。

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