[发明专利]一种密封罩系统在审
| 申请号： | 202010530765.1 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN112113723A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 李永畴 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/28 | 分类号： | G01M3/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李婷婷 |
| 地址： | 250101 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 密封 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种密封罩系统，其特征在于，包括：
半封闭腔体，所述半封闭腔体采用硬质板材形成，用于罩设在含氟化物设备上，并与所述含氟化物设备之间密封，形成密封腔体；
密封管，所述密封管的一端与所述半封闭腔体连接；
抽气结构，所述抽气结构与所述密封管的另一端连接，用于将所述密封腔体内的泄漏气体抽出，以便进行处理。
2.根据权利要求1所述的密封罩系统，其特征在于，所述硬质板材为透明塑料板。
3.根据权利要求2所述的密封罩系统，其特征在于，所述透明塑料板为压克力板。
4.根据权利要求1所述的密封罩系统，其特征在于，所述密封管为塑料管。
5.根据权利要求1所述的密封罩系统，其特征在于，所述硬质板材与所述密封管之间通过第一气管接头连接。
6.根据权利要求1所述的密封罩系统，其特征在于，还包括泡棉胶，所述半封闭腔体与所述含氟化物设备之间还包括泡棉胶，所述泡棉胶用于将所述半封闭腔体与所述含氟化物设备之间贴合且密封。
7.根据权利要求1所述的密封罩系统，其特征在于，所述密封管上还设置有量测孔，用于安装监测装置，以对所述密封管内的泄漏气体密度进行监测。
8.根据权利要求7所述的密封罩系统，其特征在于，所述量测孔处设置有第二气管接头。
9.根据权利要求1所述的密封罩系统，其特征在于，所述抽气结构为真空抽气系统。
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