[发明专利]发光二极管外延片及其制备方法

说明书

本公开提供了一种发光二极管外延片及其制备方法，属于发光二极管技术领域。发光层设置包括第一复合层与第二复合层。第一复合层中第一GaN垒层轻微阻挡电子，减缓电子迁移速度。厚度较大的第一InGaN阱层提供电子较多的迁移空间并积累电子，减少迁移到第二复合层并进行复合的电子，使得迁移速度较慢的空穴有足够的空间迁移至包括多个交替层叠的第二InGaN阱层与第三GaN垒层第二复合层与第一复合层进行复合。第二GaN垒层的厚度小于第三GaN垒层的厚度，更多的空穴可以进入靠近n型GaN层的第一复合层内与较多的电子复合发光，电子与空穴不是集中在发光层靠近p型GaN层的边缘进行发光，可以提高外延片的发光均匀度。

技术领域

本公开涉及到了发光二极管技术领域，特别涉及到一种发光二极管外延片及其制备方法。

背景技术

发光二极管是一种应用非常广泛的发光器件，常用于通信号灯、汽车内外灯、城市照明和景观照明等，发光二极管外延片则是用于制备发光二极管的基础结构。发光二极管外延片通常包括衬底及衬底上生长的外延层，外延层至少包括依次层叠在衬底上的GaN缓冲层、n型GaN层、发光层及p型GaN层。发光层通常包括交替层叠的InGaN阱层和GaN垒层，在电流作用下，n型GaN层中的电子与p型GaN层中的空穴均会迁移进入InGaN阱层进行复合发光。

由于电子的迁移速度比空穴的迁移速度快很多，因此来自n型GaN层的电子迁移到发光层中靠近p型GaN层的边缘时，来自p型GaN层的电子可能刚迁移至发光层中。导致发光二极管中，电子与空穴主要集中在发光层靠近p型GaN层的一边进行发光，发光二极管的发光均匀度较差。

发明内容

本公开实施例提供了一种发光二极管外延片及其制备方法，可以提高发光二极管的发光均匀度。所述技术方案如下：

本公开实施例提供了一种发光二极管外延片及其制备方法，所述发光二极管外延片包括衬底及生长在所述衬底上的外延层，所述外延层包括在所述衬底上依次层叠的n型GaN层、发光层及p型GaN层，

所述发光层包括依次层叠在所述n型GaN层上的第一复合层与第二复合层，所述第一复合层包括依次层叠在所述n型GaN层上的第一GaN垒层、第一InGaN阱层与第二GaN垒层，所述第二复合层包括多个交替层叠的第二InGaN阱层与第三GaN垒层，

所述第一GaN垒层的厚度小于所述第三GaN垒层的厚度，所述第一InGaN阱层的厚度大于所述第二InGaN阱层的厚度，所述第二GaN垒层的厚度大于或等于第二InGaN阱层的厚度，且所述第二GaN垒层的厚度小于所述第三GaN垒层的厚度。

可选地，所述第一GaN垒层的厚度小于所述第一InGaN阱层的厚度。

可选地，所述第一InGaN阱层的厚度小于所述第三GaN垒层的厚度。

可选地，所述第一GaN垒层的厚度为1～2.5nm，所述第一InGaN阱层的厚度为4～5.5nm，所述第二GaN垒层的厚度为4.5～6nm。

可选地，在由所述n型GaN层指向所述p型GaN层的方向上，所述第一InGaN阱层中的In的含量降低。

本公开实施例提供了一种发光二极管外延片制备方法，所述发光二极管外延片制备方法包括：

提供一衬底；

在所述衬底上生长n型GaN层；