[发明专利]修正方法在审
申请号: | 202010532996.6 | 申请日: | 2020-06-12 |
公开(公告)号: | CN112092224A | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 小松淳 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 乔婉;于靖帅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 修正 方法 | ||
1.一种修正方法,对切削装置的保持面的高度进行修正,该切削装置具有:
卡盘工作台,其能够利用所述保持面对被加工物进行吸引而保持,并且能够绕规定的旋转轴旋转;以及
切削单元,其安装具有切刃的切削刀具,包含作为该切削刀具的旋转轴的主轴,
其特征在于,
该修正方法具有如下的步骤:
旋转步骤,使该卡盘工作台旋转;以及
切削步骤,使以该主轴为旋转轴而旋转的该切削刀具的下端与旋转的该卡盘工作台的该保持面接触,从而对该保持面进行切削而对该保持面的高度进行修正。
2.根据权利要求1所述的修正方法,其特征在于,
该切削步骤包含如下的步骤:
分度进给步骤,在将该切削刀具定位于比该卡盘工作台的外周靠外侧的位置的状态下,使该切削单元在与该旋转轴平行的分度进给方向上移动不足该切削刀具的厚度的距离;以及
分度进给方向位置固定步骤,使该切削刀具的该分度进给方向上的位置固定规定的时间,
在该切削步骤中,反复进行该分度进给步骤和该分度进给方向位置固定步骤,从而对整个该保持面进行切削。
3.根据权利要求1所述的修正方法,其特征在于,
在该切削步骤中,在使该切削刀具的下端与旋转的该保持面接触的状态下,使该切削单元在与该旋转轴平行的分度进给方向上移动,从而在从沿着该卡盘工作台的该旋转轴的方向观察该保持面的情况下,将该保持面的至少一部分呈螺旋状切削。
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