[发明专利]一种更换动态气体锁的装置有效

专利信息
申请号: 202010543142.8 申请日: 2020-06-15
公开(公告)号: CN111736431B 公开(公告)日: 2023-03-03
发明(设计)人: 顾峥;伍强;李艳丽 申请(专利权)人: 上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;张磊
地址: 201210 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 更换 动态 气体 装置
【权利要求书】:

1.一种更换动态气体锁的装置,其特征在于,包括:

储存盘,移动设于测量支架与工件台之间,所述储存盘上设有多个第一安装单元,每个所述第一安装单元用于吸附一个动态气体锁以存放,或者脱吸附以释放;所述测量支架上设有第二安装单元,所述第二安装单元用于吸附所述储存盘上被释放的所述动态气体锁,或者脱吸附以拆卸;

移动机构,用于根据指令将所述储存盘及其存放的所述动态气体锁移动并定位至所述第二安装单元下方;

控制单元,用于指令所述移动机构移动,以及控制所述第一安装单元和所述第二安装单元对所述动态气体锁的吸附或脱吸附。

2.根据权利要求1所述的更换动态气体锁的装置,其特征在于,所述移动机构用于将其中的任意一个所述第一安装单元定位至所述第二安装单元下方。

3.根据权利要求2所述的更换动态气体锁的装置,其特征在于,所述储存盘为转盘,各所述第一安装单元沿所述转盘的转动半径设于所述储存盘的表面上。

4.根据权利要求1-3任一所述的更换动态气体锁的装置,其特征在于,所述第一安装单元和所述第二安装单元分设有电磁铁,所述电磁铁连接所述控制单元,所述动态气体锁的对应位置上设有永磁铁。

5.根据权利要求3所述的更换动态气体锁的装置,其特征在于,所述移动机构设有转动部,所述转动部连接所述转盘。

6.根据权利要求5所述的更换动态气体锁的装置,其特征在于,所述转盘设有转轴,所述转动部通过卡钳连接所述转轴。

7.根据权利要求6所述的更换动态气体锁的装置,其特征在于,所述卡钳包括一副滑动设于导轨上的楔形卡爪和平面卡爪,所述楔形卡爪和平面卡爪用于夹持所述转轴,所述导轨设于一转动平台上,所述转动平台连接所述转动部。

8.根据权利要求7所述的更换动态气体锁的装置,其特征在于,所述楔形卡爪和平面卡爪上分设有电磁铁,所述电磁铁连接所述移动机构。

9.根据权利要求1、2、3、5、6、7或8所述的更换动态气体锁的装置,其特征在于,所述移动机构包括机械手臂,所述机械手臂连接设于所述工件台一侧的所述测量支架下方。

10.根据权利要求9所述的更换动态气体锁的装置,其特征在于,所述机械手臂上设有摄像机。

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