[发明专利]液滴排出方法以及有机EL装置的制造方法

权利要求书

1.一种液滴排出方法，其特征在于，

在基体上具有在第1方向上经由隔壁相邻的第1开口部和第2开口部、以及在第1方向上经由隔壁与所述第2开口部相邻的第3开口部，

该液滴排出方法包括：

区域设定步骤，其中，在所述第1方向上，以从所述第3开口部的所述第2开口部侧的端部向所述第2开口部侧隔开基于应当形成的液滴的着落直径而决定的距离L的方式设定所述第2开口部的着落区域的一方的端部，并以从所述第1开口部的所述第2开口部侧的端部向所述第2开口部侧隔开所述基于应当形成的液滴的着落直径而决定的距离L的方式设定所述第2开口部的所述着落区域的另一方的端部，所述液滴的着落直径是指通过一次扫描而着落的多个液滴合体而形成的合成完毕液滴的最大直径；以及

排出步骤，其中，使所述基体与排出头对置并相对地进行扫描，并使多个液滴从所述排出头的喷嘴向所述着落区域着落、合成从而形成所述着落直径的液滴。

2.根据权利要求1所述的液滴排出方法，其特征在于，

在将所述第1方向上的所述第1开口部的宽度设为W1、将所述第1方向上的所述第2开口部的宽度设为W2、将所述第1方向上的所述第3开口部的宽度设为W3、将所述第1方向上的所述第1开口部与所述第2开口部之间的所述隔壁的宽度设为L1、将所述第1方向上的所述第2开口部与所述第3开口部之间的所述隔壁的宽度设为L2时，满足W1＜W2≤W3且L1＞L2。

3.根据权利要求1或2所述的液滴排出方法，其特征在于，

所述排出头具有多个喷嘴，

在所述排出步骤中，相对于被配置为所述第1开口部、所述第2开口部以及所述第3开口部的长边方向沿着与所述第1方向正交的第2方向的所述基体，使所述排出头沿所述第2方向相对地进行扫描，并使多个液滴从所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴向所述着落区域着落。

4.根据权利要求1或2所述的液滴排出方法，其特征在于，

所述排出头具有多个喷嘴，

在所述排出步骤中，相对于被配置为所述第1开口部、所述第2开口部以及所述第3开口部的长边方向沿着与所述第1方向正交的第2方向的所述基体，使所述排出头沿所述第1方向相对地进行扫描，并使至少一滴液滴从所述多个喷嘴中的两个以上的喷嘴分别向所述着落区域着落。

5.根据权利要求1或2所述的液滴排出方法，其特征在于，

将所述决定的距离L设定得大于对于在使所述基体与所述排出头对置并相对地进行扫描的一次扫描中形成于所述着落区域的所述着落直径的一半的值加上液滴的着落位置误差而得的值。

6.根据权利要求1或2所述的液滴排出方法，其特征在于，

设定所述着落区域，使之包含在所述排出步骤中着落的液滴的中心位于所述着落区域的所述一方的端部以及所述另一方的端部的液滴。

7.一种程序，其特征在于，

使计算机执行权利要求1～5中的任一项所述的液滴排出方法。

8.一种有机EL装置的制造方法，其特征在于，

具有排出工序，其中，使用所述权利要求1～6中的任一项所述的液滴排出方法，将用于形成包括发光层的功能层中的至少一层的液状体作为液滴向经由隔壁相邻的多个开口部排出。

9.一种滤色器的形成方法，其特征在于，

具有排出工序，其中，使用所述权利要求1～6中的任一项所述的液滴排出方法，将用于形成着色层的液状体作为液滴向经由隔壁相邻的多个开口部排出。