[发明专利]液滴排出方法以及有机EL装置的制造方法

说明书

本发明提供使排出至开口部的液滴难以向相对于该开口部相邻的开口部泄漏的液滴排出方法和程序、以及使用了该液滴排出方法的有机EL装置的制造方法、使用了该液滴排出方法的滤色器的形成方法。本实施方式的液滴排出方法包括：区域设定步骤，在该步骤中，以从与该开口部(105a)在X轴方向上相邻的开口部的该开口部(105a)侧的端部向该开口部(105a)侧隔开规定的距离(L)的方式设定该开口部(105a)的着落区域(105e)的端部；以及排出步骤，在该步骤中，使基体与排出头对置并相对地进行扫描，并使至少一滴液滴从排出头的喷嘴(52)向着落区域(105e)着落。

本申请是申请人为“东京毅力科创株式会社”、发明名称为“液滴排出方法以及有机EL装置的制造方法”、申请日为“2016年8月24日”、申请号为“201610720161.7”这一母案申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及液滴排出方法、实现液滴排出方法的程序、使用了液滴排出方法的有机EL装置的制造方法以及使用了液滴排出方法的滤色器的形成方法。

背景技术

公知有使用能够将液体作为液滴排出的喷墨头，形成例如包括配置于有机电致发光(EL)装置的像素的发光层的功能层、以及用于液晶显示装置的滤色器的着色层的液滴排出法(或者也称为喷墨法)。

在用于这种功能层、着色层的形成的液滴排出法中，追求利用隔壁包围形成涂覆膜的区域，并将从喷墨头排出的液滴可靠地收纳于隔壁所围起的区域，由此形成具有所希望的膜厚的涂覆膜。

例如，在专利文献1中，公开了以使液滴的中心着落于从显示用点区域的中心至最近的该显示用点区域的边缘为止的距离的大致30％以内的范围内的方式，使液滴从喷墨头的喷嘴排出的滤色器基板的制造方法。

若使用这种滤色器基板的制造方法，则着落后的液滴难以越过堤岸(隔壁)向相邻的区域侵入，从而防止在不同颜色的过滤要素(着色层)间产生混色。

另外，例如，在专利文献2中，公开了包含液滴着落区域设定工序的图案膜形成部件的制造方法，在该液滴着落区域设定工序中，相对于由划分部划分出的图案膜形成区域中的液滴的着落允许区域，设定液滴排出头的移动方向侧的第1着落禁止区域、以及液滴排出头的移动方向的相反的一侧的第2着落禁止区域，并且将第1着落禁止区域设定得比第2着落禁止区域宽。

若使用这种图案膜形成部件的制造方法，则在从液滴排出头的喷嘴排出液滴时，即便追随着液滴的主滴的拖尾部、跟随液滴(微小液滴)等延迟着落，也能够将液滴收容于欲着落的图案膜形成区域。换句话说，涂覆于相邻的图案膜形成区域的功能液彼此不接触，能够减少混色不佳。

专利文献1：日本特开2004－361491号公报

专利文献2：日本特开2011－189267号公报

然而，若有机EL装置、液晶显示装置中的像素变得高精细，则由堤岸(划分部)围起的膜形成区域变窄而难以高精度地使液滴着落。另外，若在液滴排出头的移动方向上，划分相邻的膜形成区域的堤岸(划分部)的宽度变窄，则即便如上述专利文献1、上述专利文献2那样设定液滴的着落区域或者着落禁止区域，也会在液滴着落于着落区域时，因其惯性力而液滴形状增大，因此存在越过堤岸(划分部)向相邻的膜形成区域侵入，引发图案膜的膜厚不均、颜色不均的担忧。

发明内容

本发明是为了决定上述的课题的至少一部分而产生的，并能够作为以下方式或者应用例而实现。