[发明专利]一种磁控式的硅片吸持装置

权利要求书

1.一种磁控式的硅片吸持装置，包括竖直的支撑柱(1)，其特征在于：支撑柱(1)的下端固定连接有吸盘(2)，支撑柱(1)的上端固定在连接盘(3)上，连接盘(3)上端面的中部固定有电磁铁(4)，电磁铁(4)的正上方设有永磁铁(7)，永磁铁(7)固定在升降盘(8)上，升降盘(8)的外圈上成型若干个第一支耳(81)；所述电磁铁(4)四周的连接盘(3)上插接有若干导柱(5)，导柱(5)的上端固定在升降盘(8)的第一支耳(81)上，导柱(5)的下端穿过连接盘(3)固定在环形的压盘(12)上，导柱(5)上插套有压簧(10)，压簧(10)的两端分别压靠在第一支耳(81)和连接盘(3)上，所述连接盘(3)的外圈固定有若干根连接柱(11)，连接柱(11)的上端固定在顶板(6)，顶板(6)位于升降盘(8)的上方并成型有若干个安装孔(61)。

2.根据权利要求1所述的一种磁控式的硅片吸持装置，其特征在于：所述压盘(12)内圈的直径大于吸盘(2)的最大直径，压盘(12)外圈的直径大于连接盘(3)的直径。

3.根据权利要求1所述的一种磁控式的硅片吸持装置，其特征在于：所述吸盘(2)下端面至压盘(12)下端面的距离小于永磁铁(7)与电磁铁(4)之间的间距。

4.根据权利要求3所述的一种磁控式的硅片吸持装置，其特征在于：所述压盘(12)的下端面上固定有环形的橡胶垫圈(13)。

5.根据权利要求1所述的一种磁控式的硅片吸持装置，其特征在于：所述连接盘(3)上的一根导柱(5)采用螺杆，螺杆上螺接有限位螺母(14)，限位螺母(14)抵靠在连接盘(3)的下端面上，所述压盘(12)的外圈设有若干限位支脚(9)，限位支脚(9)包括水平的连杆(91)，连杆(91)的内端固定在压盘(12)的上端面上，连杆(91)的外端固定有竖直的支撑杆(92)，支撑杆(92)的下端固定有橡胶块(93)。

6.根据权利要求1所述的一种磁控式的硅片吸持装置，其特征在于：所述的连杆(91)上成型有导向槽(911)，导向槽(911)内插接有调节螺栓(94)，调节螺栓(94)螺接在压盘(12)上，连杆(91)通过调节螺栓(94)固定在压盘(12)上；所述橡胶块(93)的下端面位于吸盘(2)下端面的上侧。

7.根据权利要求1所述的一种磁控式的硅片吸持装置，其特征在于：所述升降盘(8)的一侧成型有第二支耳(82)，第二支耳(82)的正下方设有竖直的限位螺栓(15)，限位螺栓(15)螺接在连接盘(3)上。

8.根据权利要求1所述的一种磁控式的硅片吸持装置，其特征在于：所述连接盘(3)一侧的连接柱(11)上成型有安置电磁铁(4)电源线的插线孔(111)，所述的顶板(6)上成型有与插线孔(111)正对的穿线孔(62)。