[发明专利]一种制绒清洗方法及异质结电池

说明书

本发明公开了一种制绒清洗方法及异质结电池。制绒清洗方法包括以下步骤：步骤1、用含有臭氧的混合溶液对硅片进行预处理，预处理过程中硅片的表面生成用以附着污染物的氧化层；步骤2、通过碱液去除硅片表面的氧化层；步骤3、水洗后对硅片进行氧化性清洗，清洗过程中硅片的表面再次生成氧化层；步骤4、通过碱液对硅片进行制绒；步骤5、对硅片进行不少于一次的水洗；步骤6、用含有双氧水的碱液对硅片去污；步骤7、水洗后用含有臭氧的酸液对硅片表面进行圆化处理；步骤8、水洗后对硅片进行酸洗；步骤9、水洗后烘干硅片。本发明具有成本低、绒面一致性好、更环保等优点。

本申请要求于2019年11月20日提交中国专利局、申请号为“2019111433127”、申请名称为“一种制绒清洗方法及异质结电池”的中国专利申请的优先权，其全部内容通过引用结合在本申请中。

技术领域

本发明涉及太阳能光伏电池工艺技术领域，尤其涉及一种制绒清洗方法及异质结电池。

背景技术

异质结电池是高效光伏太阳能电池的一种，与传统晶硅光伏太阳能电池相比，异质结电池因其更高的转换效率，越来越受到市场的青睐。但异质结电池对制程中的每一道工序的要求都比较高，具体是指洁净度的要求、绒面的要求、膜层的要求等，异质结电池转换效率在23.5％以上。工艺制程中的第一道工序是制绒清洗，区别于常规制绒清洗，异质结电池的制绒清洗工艺流程更复杂，现有的异质结制绒清洗技术中使用大量的HF、HNO3、NH4OH等化学品，不仅使用到的化学品成本极高，而且制绒清洗后的绒面一致性不足，同时也造成排放大量含有氮元素的废液，对环境造成污染。

因此，如何设计能提高硅片绒面质量的制绒清洗方法是业界亟待解决的技术问题。

发明内容

为了解决现有工艺流程绒面质量差的缺陷，本发明提出一种制绒清洗方法及异质结电池，其具有成本低、绒面一致性好、更环保等优点。

本发明采用的技术方案是，设计制绒清洗方法，包括以下步骤：

步骤1、用含有臭氧的混合溶液对硅片进行预处理，预处理过程中硅片的表面生成用以附着污染物的氧化层；

步骤2、通过碱液去除硅片表面的氧化层；

步骤3、水洗后对硅片进行氧化性清洗，清洗过程中硅片的表面再次生成氧化层；

步骤4、通过碱液对硅片进行制绒；

步骤5、对硅片进行不少于一次的水洗；

步骤6、用含有双氧水的碱液对硅片去污；

步骤7、水洗后用含有臭氧的酸液对硅片表面进行圆化处理；

步骤8、水洗后对硅片进行酸洗；

步骤9、水洗后烘干硅片。

优选的，步骤7中用含有臭氧的酸液对硅片表面进行圆化处理包括：步骤a、用含有臭氧、氢氟酸和盐酸的混合溶液对硅片表面进行圆化处理；步骤b、用含有臭氧和盐酸的混合溶液对硅片表面进行圆化后处理；步骤c、对硅片进行清洗。

优选的，步骤a的混合溶液中臭氧浓度为10PPM-100PPM、氢氟酸浓度为1％-5％、盐酸浓度为0.01％-0.5％，步骤a的混合溶液温度为20℃-25℃、反应时间为90s-600s；步骤b的混合溶液中臭氧浓度为10PPM-50PPM、盐酸浓度为0.01％-0.5％，步骤b的混合溶液温度为室温、反应时间90s-180s。

优选的，步骤7中用含有臭氧的酸液对硅片表面进行圆化处理包括：用含有臭氧、氢氟酸和盐酸的混合溶液对硅片表面进行圆化及后处理，再对硅片进行清洗；步骤7的混合溶液中臭氧浓度10PPM-100PPM、氢氟酸浓度为1％-5％、盐酸浓度为0.01％-0.5％，步骤7的混合溶液温度为20℃-40℃、反应时间90s-600s。