[发明专利]双层石墨烯及其制备方法在审
| 申请号： | 202010552898.9 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN111777062A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 邹定鑫;赵悦;刘松;张振生;俞大鹏 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | C01B32/186 | 分类号： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 郝文婷 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 双层 石墨 及其 制备 方法 | ||
1.一种双层石墨烯的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供金属衬底、还原性气体和碳源；
将所述金属衬底进行升温处理和退火处理；
加入所述碳源，经化学气相沉积反应，在所述金属衬底表面生成双层石墨烯；
其中，所述碳源为在所述化学气相沉积反应中呈气态的碳源；
所述升温处理的步骤中，在温度升至750℃之前，通入所述还原性气体对所述金属衬底进行预处理。
2.根据权利要求1所述双层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述升温处理的步骤中，在温度升至750℃之后继续通入所述还原性气体。
3.根据权利要求2所述双层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述升温处理的步骤中，全程在所述还原性气体条件下进行。
4.根据权利要求1所述双层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述还原性气体为氢气、一氧化碳中的至少一种；和/或
所述还原性气体的通入流量为1sccm-500sccm。
5.根据权利要求1-4任意一项所述双层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述升温处理是将温度升至1000℃-1050℃。
6.根据权利要求1-4任意一项所述双层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述碳源为气态碳源时，其通入量为0.01sccm-20sccm；和/或
所述碳源为甲烷。
7.根据权利要求1-4任意一项所述双层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述化学气相沉积反应在所述还原性气体条件下进行；和/或
所述化学气相沉积反应的反应温度为900℃-1050℃；和/或
所述化学气相沉积反应的反应时间为1min-200min。
8.根据权利要求1-4任意一项所述双层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述金属衬底的材质为铜或铜合金；和/或所述金属衬底的厚度为5μm-1000μm。
9.根据权利要求1-4任意一项所述双层石墨烯的制备方法，其特征在于，所述退火处理在所述还原性气体条件下进行；和/或
所述退火处理的时间为10min-400min。
10.一种双层石墨烯，其特征在于，所述双层石墨烯通过权利要求1-9任意一项所述双层石墨烯的制备方法制备得到，所述双层石墨烯为覆盖率大于99％的双层石墨烯薄膜，其横向尺寸为0.1cm-100cm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南方科技大学，未经南方科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010552898.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
