[发明专利]定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵

说明书

本发明提供了一种定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵，其中，定子主体的加工方法，依次包括以下步骤：对符合第一条件的定子主体毛坯的相对设置的两个外端加工面进行精加工，使精加工的定子主体毛坯的外端尺寸的偏差在0至0.02mm的范围内；通过三坐标测量仪对贯穿加工后的定子主体毛坯进行检验，擦拭定子主体毛坯的内腔面和两个外表面，完成擦拭后，再次检验定子主体毛坯是否符合第二条件；对符合第二条件的定子主体毛坯进行研磨处理，使研磨后的定子主体毛坯的外表面的表面光洁度为1.6μm，以得到定子主体。本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的由于组装误差，使得多级转子磨损内腔的问题。

技术领域

本发明涉及真空源领域，具体而言，涉及一种定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵。

背景技术

干泵是泛半导体行业必需的真空源设备。干泵中有一种多级蚌壳式真空泵，该真空泵包括上泵壳、下泵壳以及多级转子，上泵壳和下泵壳之间能够形成内腔，多级转子可转动地位于内腔内。上泵壳和下泵壳拼接在一起形成内腔的过程中，由于组装误差，使得多级转子在内腔内转动时，多级转子会磨损内腔，磨损严重后导致多级转子报废，不利于维修。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种定子主体的加工方法、泵体组件及其装配方法和真空泵，以解决相关技术中的由于组装误差，使得多级转子磨损内腔的问题。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种定子主体的加工方法，依次包括以下步骤：用砂模制成容纳定子主体毛坯的砂腔及砂芯，选取浇帽口的位置；通过压力铸造得到定子主体毛坯，使定子主体毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；将定子主体毛坯放入热炉中，使定子主体毛坯的温度达到第一预设值，第一预设值在550℃至650℃的范围内，定子主体毛坯加热之后进行去应力退火处理；将经去应力退火处理后的定子主体毛坯重新加热至第二预设值，并保持第二预设值在5小时至20小时的范围内，第二预设值在100℃-150℃的范围内；对定子主体毛坯的内腔加工面进行粗加工，使内腔加工面留有1mm的加工余量；通过三坐标测量仪对定子主体毛坯进行检验，通过内窥镜对定子主体毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验定子主体毛坯的内部是否符合第一条件；对符合第一条件的定子主体毛坯的相对设置的两个外端加工面进行精加工，使精加工的定子主体毛坯的外端尺寸的偏差在0至0.02mm的范围内；通过线切割或数控机床对定子主体毛坯的相对设置的两个外表面进行贯穿加工，外表面与外端加工面相邻设置；通过三坐标测量仪对贯穿加工后的定子主体毛坯进行检验，擦拭定子主体毛坯的内腔面和两个外表面，完成擦拭后，再次检验定子主体毛坯是否符合第二条件；对符合第二条件的定子主体毛坯进行研磨处理，使研磨后的定子主体毛坯的外表面的表面光洁度为1.6μm，以得到定子主体。

根据本发明的另一方面，提供了一种泵体组件，包括定子和转子，定子包括：定子主体、第一挡板、第二挡板和多个隔板，多个隔板间隔地设置在第一挡板与第二挡板之间；转子为间隔设置的两个，两个转子可转动地位于定子主体的内腔内，定子主体通过上述的定子主体的加工方法得到。

进一步地，每个隔板上间隔地设置有第一避让孔和第二避让孔，任意相邻的两个隔板中的一个隔板的第一避让孔的孔壁上设置有第一缺口，另一个隔板的第二避让孔的孔壁上设置有第二缺口，第一缺口和第二缺口错位设置；第一挡板上设置有进气口，第二挡板上设置有出气口，第一缺口和第二缺口位于进气口和出气口之间，进气口、第一缺口、第二缺口和出气口连通成气体流道。

进一步地，每个隔板的上部分与第一挡板为一体成型结构，每个隔板的下部分与第二挡板为一体成型结构，第一避让孔的一部分形成在上部分上，另一部分形成在下部分上，第二避让孔的一部分形成在上部分上，另一部分形成在下部分上。