[发明专利]转子及其加工方法、泵体组件及其加工方法和真空泵

说明书

本发明提供了一种转子及其加工方法、泵体组件及其加工方法和真空泵，其中，转子的加工方法，依次包括以下步骤：对符合第一条件的转子毛坯的第一加工面进行粗加工，使第一加工面留有2mm的加工余量；对符合第二条件的转子毛坯的第二加工面进行半精加工，使第二加工面留有0.2mm的加工余量；通过磨削的方式对转子毛坯进行精加工，在精加工的过程中，使转子毛坯的转轴的圆跳动为0.012mm，表面光洁度为0.8μm，转子毛坯的叶片相对于转子毛坯的转轴的垂直度为0.02mm；对转子毛坯进行动平衡测量，筛选出符合动平衡标准的转子毛坯，以得到转子。本申请的技术方案有效地解决了相关技术中的由于组装误差，使得多级转子磨损内腔的问题。

技术领域

本发明涉及真空源领域，具体而言，涉及一种转子的转子及其加工方法、泵体组件及其加工方法和真空泵。

背景技术

干泵是半导体行业必需的真空源设备。干泵中有一种多级蚌壳式真空泵，该真空泵包括上泵壳、下泵壳以及多级转子，上泵壳和下泵壳之间能够形成内腔，多级转子可转动地位于内腔内。多级转子包括多个叶片和轴，多个叶片间隔地设置在轴上。在多个叶片安装在轴上的过程中，由于组装误差，使得多级转子在内腔内转动时，多级转子会磨损内腔，磨损严重后导致多级转子报废，不利于维修。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种转子及其加工方法、泵体组件及其加工方法和真空泵，以解决相关技术中的由于组装误差，使得多级转子磨损内腔的问题。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种转子的加工方法，依次包括以下步骤：用砂模制成容纳转子毛坯的砂腔及砂芯，确定浇帽口的位置；通过压力铸造得到转子毛坯，使转子毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；对转子毛坯进行回火去应力处理，检测转子毛坯是否符合第一条件；对符合第一条件的转子毛坯的第一加工面进行粗加工，使第一加工面留有2mm的加工余量；通过三坐标测量仪对转子毛坯进行检验，通过内窥镜对转子毛坯的内部进行检验，并通过超声探伤检验转子毛坯的内部是否符合第二条件；对符合第二条件的转子毛坯的第二加工面进行半精加工，使第二加工面留有0.2mm的加工余量；通过磨削的方式对转子毛坯进行精加工，在精加工的过程中，使转子毛坯的转轴的圆跳动为0.012mm，表面光洁度为0.8μm，转子毛坯的叶片相对于转子毛坯的转轴的垂直度为0.02mm；对转子毛坯进行动平衡测量，筛选出符合动平衡标准的转子毛坯，以得到转子。

进一步地，在用砂模制成容纳转子毛坯的砂腔及砂芯，确定浇帽口的位置的步骤与通过压力铸造得到转子毛坯的步骤之间，加工方法还包括向砂腔及砂芯内浇筑铁水，浇筑铁水的温度在1340℃-1420℃的范围内，浇筑铁水的速度在0.005m³/s-0.002m³/s的范围内。

根据本发明的另一方面，提供了一种转子，转子通过上述的转子的加工方法得到，转子包括转轴和设置在转轴上的多个叶片，多个叶片间隔地设置在转轴上，转子为两个，两个转子啮合传动。

进一步地，转轴与多个叶片为一体成型结构。

根据本发明的另一方面，提供了一种泵体组件，包括定子和转子，定子包括定子主体，转子设置在定子主体内，转子为上述的转子。

进一步地，定子还包括盖体和底托，盖体盖设于定子主体的第一端面，底托位于定子主体的第二端面上，定子还包括间隔设置的多个隔板，每个隔板可拆卸地连接在定子主体内，多个隔板沿定子主体的轴线方向将定子主体的内腔分隔成多段；转子的转轴可转动地穿设在盖体和底托上，转子的多个叶片位于内腔内。

进一步地，每个隔板位于转子的转轴的外侧，并位于转子的相邻的两个叶片之间，隔板包括板本体和间隔设置在板本体上的第一弧形凹部和第二弧形凹部。

进一步地，定子主体的内腔包括第一腔室和与第一腔室连通的第二腔室，两个转子的两个转轴分别可转动地穿设于第一腔室和第二腔室，一个转子的转轴上的多个叶片位于第一腔室内，另一个转子的转轴上的多个叶片位于第二腔室内。