[发明专利]具有带有凸起延伸区域的晶体管的设备和形成此类晶体管的方法在审
申请号: | 202010565294.8 | 申请日: | 2020-06-19 |
公开(公告)号: | CN112133702A | 公开(公告)日: | 2020-12-25 |
发明(设计)人: | 刘海涛 | 申请(专利权)人: | 美光科技公司 |
主分类号: | H01L27/11517 | 分类号: | H01L27/11517;H01L27/11529;H01L27/11551;H01L27/11563;H01L27/11573;H01L27/11578 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 王龙 |
地址: | 美国爱*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 带有 凸起 延伸 区域 晶体管 设备 形成 方法 | ||
1.一种设备,其包括:
电压节点;
负载节点;以及
晶体管,所述晶体管连接于所述电压节点与所述负载节点之间,所述晶体管包括:
电介质,所述电介质覆盖具有第一导电性类型的半导体;
导体,所述导体覆盖所述电介质;
第一延伸区域基底,所述第一延伸区域基底形成于所述半导体中并延伸到所述电介质的一个边缘之外,其中所述第一延伸区域基底具有与所述第一导电性类型不同的第二导电性类型;
第二延伸区域基底,所述第二延伸区域基底形成于所述半导体中并延伸到所述电介质的相反边缘之外,其中所述第二延伸区域基底具有所述第二导电性类型;
第一延伸区域竖件,所述第一延伸区域竖件形成为覆盖所述第一延伸区域基底并且具有所述第二导电性类型;
第二延伸区域竖件,所述第二延伸区域竖件形成为覆盖所述第二延伸区域基底并且具有所述第二导电性类型;
第一源极/漏极区域,所述第一源极/漏极区域形成于所述第一延伸区域竖件中并连接到所述电压节点,其中所述第一源极/漏极区域具有所述第二导电性类型并且具有比所述第一延伸区域竖件的导电性水平大的导电性水平;以及
第二源极/漏极区域,所述第二源极/漏极区域形成于所述第二延伸区域竖件中并连接到所述负载节点,其中所述第二源极/漏极区域具有所述第二导电性类型并且具有比所述第二延伸区域竖件的导电性水平大的导电性水平。
2.根据权利要求1所述的设备,其中所述半导体包括半导体材料,其中所述第一延伸区域基底包括所述半导体材料和掺杂剂物种,并且其中所述第一延伸区域竖件包括所述半导体材料和所述掺杂剂物种。
3.根据权利要求1所述的设备,其中所述半导体包括第一半导体材料,其中所述第一延伸区域基底包括所述第一半导体材料和掺杂剂物种,并且其中所述第一延伸区域竖件包括不同于所述第一半导体材料的第二半导体材料和所述掺杂剂物种。
4.根据权利要求1所述的设备,其中所述第一延伸区域竖件的上表面和所述第二延伸区域竖件的上表面位于所述导体的上表面上方。
5.根据权利要求1所述的设备,其中所述晶体管为第一晶体管,所述负载节点为第一负载节点,所述导体为第一导体,并且所述电介质为第一电介质,所述设备进一步包括:
第二负载节点;以及
第二晶体管,所述第二晶体管连接于所述电压节点与所述第二负载节点之间,所述第二晶体管包括:
第二电介质,所述第二电介质覆盖所述半导体;
第二导体,所述第二导体覆盖所述第二电介质;
第三延伸区域基底,所述第三延伸区域基底形成于所述半导体中并延伸到所述第二电介质的一个边缘之外,其中所述第三延伸区域基底具有所述第二导电性类型;
第三延伸区域竖件,所述第三延伸区域竖件形成为覆盖所述第三延伸区域基底并且具有所述第二导电性类型;以及
第三源极/漏极区域,所述第三源极/漏极区域形成于所述第三延伸区域竖件中并连接到所述第二负载节点,其中所述第三源极/漏极区域具有所述第二导电性类型并且具有比所述第三延伸区域竖件的导电性水平大的导电性水平;
其中所述第一延伸区域基底延伸到所述第二电介质的相反边缘之外。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的