[发明专利]一种CVD的激光加工设备及操作方法

权利要求书

1.一种CVD的激光加工设备，包括机架（1）和激光发射组件，其特征在于：还包括设于机架（1）上的装夹组件（50），所述装夹组件（50）包括设于聚焦镜（8）下侧的装夹架（501）、固定于装夹架（501）上的装夹块（502）和通过吸气管（503）与装夹块（502）连接的抽气件，所述机架（1）具有一支撑板（12），所述装夹架（501）设于支撑板（12）上，所述装夹块（502）远离装夹架（501）的一侧开设有与吸气管（503）互相连通的吸附口（5021）。

2.根据权利要求1所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：还包括设于机架（1）上的除尘组件（40），所述除尘组件（40）包括除尘喷嘴（401）、通过除尘管与除尘喷嘴（401）连接的吹气件、固定于聚焦镜（8）上的支撑杆（403）、一端套设于支撑杆（403）上且与支撑杆（403）滑移连接的悬挂杆（404）、螺纹连接于悬挂杆（404）的一端且压紧支撑杆（403）的固定螺钉（405）、穿设于悬挂杆（404）的另一端且与悬挂杆（404）转动连接的固定柱（406）和螺纹连接于悬挂杆（404）的另一端且压紧固定柱（406）的锁定螺钉（407），所述除尘喷嘴（401）靠近除尘管的一端插接于固定柱（406）上，所述除尘喷嘴（401）朝向吸附口（5021）设置。

3.根据权利要求1所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：还包括设于装夹架（501）下方驱使装夹架（501）平移的驱动组件（60），所述支撑板（12）上设有通孔（121），所述驱动组件（60）包括第一直线驱动件（601），所述第一直线驱动件（601）的驱动端穿设于通孔（121）内且与装夹架（501）固定。

4.根据权利要求3所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：所述驱动组件（60）还包括固定于机架（1）上且驱动端与第一直线驱动件（601）固定的第二直线驱动件（602），所述第一直线驱动件（601）驱动端的运动方向与第二直线驱动件（602）驱动端的运动方向互相垂直。

5.根据权利要求1所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：所述激光发射组件包括依次设于机架（1）上的全反透镜（2）、第一光阑（10）、Q开关（3）、激光模块（4）、快门（5）、输出腔镜（6）、扩束镜头（7）和聚焦镜（8），所述全反透镜（2）、第一光阑（10）、Q开关（3）、激光模块（4）、快门（5）、输出腔镜（6）、扩束镜头（7）和聚焦镜（8）设于同一条直线上。

6.根据权利要求5所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：所述激光发射组件还包括设于扩束镜头（7）远离输出腔镜（6）一侧的45°反射镜（9），所述45°反射镜（9）设于聚焦镜（8）的上方。

7.根据权利要求6所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：还包括设于机架（1）上驱使聚焦镜（8）升降的驱动件（30）。

8.根据权利要求5所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：还包括设于机架（1）上且设于激光模块（4）与快门（5）之间的偏振片（70）。

9.根据权利要求6所述的一种CVD的激光加工设备，其特征在于：还包括固定于机架（1）上且设于45°反射镜正上方的CCD相机（80）以及与CCD相机（80）连接以接收并显示待加工件图像的显示屏，所述CCD相机（80）与聚焦镜（8）呈同心设置。

10.一种CVD的激光加工设备操作方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将待加工件放置于装夹块（502）的吸附口（5021）上，控制抽气件开启将待加工件吸附于装夹块（502）上；

S2、控制吹气件开启给除尘喷嘴（401）供气，吹除待加工件表面的灰尘；

S3、控制CCD相机（80）采集待加工件图像并通过显示屏显示；

S4、通过驱动件（30）控制聚焦镜（8）升降，调节显示屏内待加工件图像至合适大小；

S5、通过第一直线驱动件（601）与第二直线驱动件（602）调节显示屏上十字线的水平线与待加工件图像的上边缘对齐；

S6、根据工件的加工厚度将显示屏上十字线的水平线调节至待加工图像的对应位置，控制激光模块（4）开启，对待加工件切割加工。