[发明专利]一种CVD的激光加工设备及操作方法

说明书

本申请涉及一种CVD的激光加工设备及操作方法，涉及激光束加工领域，解决了只能装夹固定尺寸较大的待加工件，很难对尺寸较小的待加工件进行装夹固定，比如小尺寸的CVD金刚石，使得很难通过激光切割的方式加工小尺寸的CVD金刚石的问题，其包括机架和激光发射组件，还包括设于机架上的装夹组件，所述装夹组件包括设于聚焦镜下侧的装夹架、固定于装夹架上的装夹块和通过吸气管与装夹块连接的抽气件，所述机架具有一支撑板，所述装夹架设于支撑板上，所述装夹块远离装夹架的一侧开设有与吸气管互相连通的吸附口。本申请具有实现了对小尺寸的待加工件装夹固定，以对CVD金刚石等小尺寸待加工进行激光切割的效果。

技术领域

本申请涉及激光束加工的领域，尤其是涉及一种CVD的激光加工设备及操作方法。

背景技术

CVD金刚石是含碳气体和氢气的混合物在高温和低于标准大气压的压力下被激发分解，形成活性炭金刚石碳原子，并在基体上沉淀交互生长成聚晶金刚石，其使用范围比较广，利用其硬度可以用于刀具的制作，或者利用金刚石的化学稳定性制成各类生物传感器件。

如申请号为201210084336.1的中国专利，公开了一种激光切割用夹具，包括支架，该支架和活动支撑板之间设有水平调节弹簧及对称设置的水平支撑滚珠，活动支撑板上设置有左右对称的二个夹装部件，每个夹装部件的连接固定板分别垂直设置于活动支撑板的一侧，连接固定板和活动支撑板之间设置有弹簧导向杆固定板，其夹角30°≤α≤60°，弹簧导向杆固定板上设置的弹簧导向杆外套装有垂直调节弹簧，垂直调节弹簧上方设置有与连接固定板的上端活动连接的支撑架支撑板，支撑架支撑板上设置有支撑件。

针对上述中的相关技术，发明人认为存在有只能装夹固定尺寸较大的待加工件，很难对尺寸较小的待加工件进行装夹固定，比如小尺寸的CVD金刚石，使得很难通过激光切割的方式加工小尺寸的CVD金刚石的缺陷。

发明内容

为了能够装夹固定小尺寸的待加工件，本申请一方面提供一种CVD的激光加工设备。

本申请提供的一种CVD的激光加工设备采用如下的技术方案：

一种CVD的激光加工设备，包括机架和激光发射组件，还包括设于机架上的装夹组件，所述装夹组件包括设于聚焦镜下侧的装夹架、固定于装夹架上的装夹块和通过吸气管与装夹块连接的抽气件，所述机架具有一支撑板，所述装夹架设于支撑板上，所述装夹块远离装夹架的一侧开设有与吸气管互相连通的吸附口。

通过采用上述技术方案，抽气件抽取吸附口内的空气，形成负压，以将CVD金刚石等小尺寸的待加工件装夹于装夹块上，实现了对小尺寸的待加工件装夹固定，以对CVD金刚石等小尺寸待加工进行激光切割。

优选的，还包括设于机架上的除尘组件，所述除尘组件包括除尘喷嘴、通过除尘管与除尘喷嘴连接的吹气件、固定于聚焦镜上的支撑杆、一端套设于支撑杆上且与支撑杆滑移连接的悬挂杆、螺纹连接于悬挂杆的一端且压紧支撑杆的固定螺钉、穿设于悬挂杆的另一端且与悬挂杆转动连接的固定柱和螺纹连接于悬挂杆的另一端且压紧固定柱的锁定螺钉，所述除尘喷嘴靠近除尘管的一端插接于固定柱上，所述除尘喷嘴朝向吸附口设置。

通过采用上述技术方案，吹气件给除尘喷嘴供气，以通过除尘喷嘴将待加工件上的灰尘吹掉，进而方便对待加工件进行切割加工，降低了灰尘对激光切割的影响，提高了激光切割的精度。

优选的，还包括设于装夹架下方驱使装夹架平移的驱动组件，所述支撑板上设有通孔，所述驱动组件包括第一直线驱动件，所述第一直线驱动件的驱动端穿设于通孔内且与装夹架固定。

通过采用上述技术方案，方便通过第一直线驱动件调节装夹架的位置，以对待加工进行精确切割加工，提高了切割加工的精度。

优选的，所述驱动组件还包括固定于机架上且驱动端与第一直线驱动件固定的第二直线驱动件，所述第一直线驱动件驱动端的运动方向与第二直线驱动件驱动端的运动方向互相垂直。