[发明专利]一种多组热丝反应设备

权利要求书

1.一种多组热丝反应设备，其特征在于，包括外壳(1)，所述外壳(1)内沿长度方向并排设有若干个移动平台(2)，所述移动平台(2)均通过滑动机构设置在所述外壳(1)内，所述移动平台(2)上均固定设置有反应室(3)，所述反应室(3)内均设置有热丝气相沉积反应组件；所述外壳(1)内的顶部还固定设置有加热装置(4)，所述加热装置(4)的底部设置有衬底托盘(5)，所述衬底托盘(5)用于安装衬底。

2.如权利要求1所述的一种多组热丝反应设备，其特征在于，所述热丝气相沉积反应组件包括并排固定设置在所述反应室(3)内的若干个输气管(7)和若干个热丝(8)，所述热丝(8)均设置在对应的所述输气管(7)的顶部，所述输气管(7)的管壁上均开有若干个通气孔(70)。

3.如权利要求2所述的一种多组热丝反应设备，其特征在于，所述热丝(8)包括铼丝、石墨丝和钽丝。

4.如权利要求1所述的一种多组热丝反应设备，其特征在于，所述反应室(3)的顶部均设置有密封盖板(9)。

5.如权利要求4所述的一种多组热丝反应设备，其特征在于，所述密封盖板(9)为伸缩板。

6.如权利要求1所述的一种多组热丝反应设备，其特征在于，所述衬底托盘(5)的底部转动连接有挡片(10)，用于遮挡所述衬底。

7.如权利要求1所述的一种多组热丝反应设备，其特征在于，所述滑动机构包括若干个滑轨(11)和滑块(12)，所述滑轨(11)并排固定设置在所述外壳(1)底部，所述滑块(12)固定设置在所述移动平台(2)的底部，所述移动平台(2)能够通过所述滑块(12)在所述滑轨(11)上滑动。

8.如权利要求1所述的一种多组热丝反应设备，其特征在于，所述移动平台(2)在所述外壳(1)内设置有2个。

9.如权利要求1所述的一种多组热丝反应设备，其特征在于，所述反应室(3)的材料为惰性陶瓷。

10.如权利要求1所述的一种多组热丝反应设备，其特征在于，每一个所述反应室(3)内的所述热丝气相沉积反应组件均与外部独立的输气系统和独立的直流电源连接。