[发明专利]一种多组热丝反应设备

说明书

本发明公开一种多组热丝反应设备，属于热丝气相沉积技术领域。所述多组热丝反应设备包括外壳，外壳内沿长度方向并排设有若干个移动平台，移动平台均通过滑动机构设置在外壳内，移动平台上均固定设置有反应室，反应室内均设置有热丝气相沉积反应组件；外壳内的顶部还固定设置有加热装置，加热装置的底部设置有衬底托盘，衬底托盘用于安装衬底。本发明提供的一种多组热丝反应设备中，多个反应室中可以装入不同种类的热丝，在需要沉积不同种类的薄膜时，能够避免因频繁地更换热丝而浪费时间；多个反应室能够同时工作，实现在同一块衬底上同时沉积同种或不同种的薄膜材料，极大地提高了反应速率，扩大了沉积面积，方便操作。

技术领域

本发明涉及热丝气相沉积技术领域，特别涉及一种多组热丝反应设备。

背景技术

化学气相沉积是利用气态物质通过化学反应在基片表面形成固态薄膜的一种成膜技术。它有着适用范围广泛、镀层化学成分可改变且绕镀性好、镀层密度和纯度可控制等优点，是一种重要的镀膜技术。热丝化学气相沉积是化学气相沉积的一种，热丝化学气相沉积因其工艺条件较易控制以及沉积过程中没有离子轰击等优点，而被广泛应用于薄膜制备领域。

在气相反应过程中，由于气相反应的核心部分热丝在不同的气体中寿命不同，所以为了保证热丝的寿命，通常在沉积不同的薄膜材料时需要频繁地更换热丝；同时，在一个热丝化学气相沉积反应中，还无法在一个衬底上同时沉积不同的物质。

发明内容

本发明的目的在于提供一种多组热丝反应设备，以解决传统的气相反应过程中，为了保证热丝的寿命，通常在沉积不同的薄膜材料时需要频繁地更换热丝，且在一个热丝化学气相沉积反应中，还无法在一个衬底上同时沉积不同的物质的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种多组热丝反应设备，包括外壳，所述外壳内沿长度方向并排设有若干个移动平台，所述移动平台均通过滑动机构设置在所述外壳内，所述移动平台上均固定设置有反应室，所述反应室内均设置有热丝气相沉积反应组件；所述外壳内的顶部还固定设置有加热装置，所述加热装置的底部设置有衬底托盘，所述衬底托盘用于安装衬底。

可选的，所述热丝气相沉积反应组件包括并排固定设置在所述反应室内的若干个输气管和若干个热丝，所述热丝均设置在对应的所述输气管的顶部，所述输气管的管壁上均开有若干个通气孔。

可选的，所述热丝包括铼丝、石墨丝和钽丝。

可选的，所述反应室的顶部均设置有密封盖板。

可选的，所述密封盖板为伸缩板。

可选的，所述衬底托盘的底部转动连接有挡片，用于遮挡所述衬底。

可选的，所述滑动机构包括若干个滑轨和滑块，所述滑轨并排固定设置在所述外壳底部，所述滑块固定设置在所述移动平台的底部，所述移动平台能够通过所述滑块在所述滑轨上滑动。

可选的，所述移动平台在所述外壳内设置有2个。

可选的，所述反应室的材料为惰性陶瓷。

可选的，每一个所述反应室内的所述热丝气相沉积反应组件均与外部独立的输气系统和独立的直流电源连接。

本发明提供的一种多组热丝反应设备具有以下有益效果：

(1)多个所述反应室中可以装入不同种类的所述热丝，在需要沉积不同种类的薄膜时，能够避免因频繁地更换热丝而浪费时间，提高了工作效率；

(2)多个所述反应室能够同时工作，实现在同一块所述衬底上同时沉积同种或不同种的薄膜材料，极大地提高了反应速率，扩大了沉积面积，方便操作。

附图说明

图1是本发明提供的一种多组热丝反应设备的俯视图；