[发明专利]一种镀膜玻璃及其制备方法在审
| 申请号： | 202010571822.0 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN111559875A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 曾小绵;白振中 | 申请（专利权）人： | 广东旗滨节能玻璃有限公司;深圳市新旗滨科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 张志江 |
| 地址： | 517000 广东省河*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 玻璃 及其 制备 方法 | ||
1.一种镀膜玻璃，其特征在于，其包括：
玻璃基片；
功能膜系层，沉积于所述玻璃基片表面上；
氮化硅锆铝层，沉积于所述功能膜系层表面上，其中，所述氮化硅锆铝层是以硅锆铝三元材料为靶材在含氮气氛下经磁控溅射沉积而成，所述硅锆铝三元材料的组成及重量百分比为：Zr为12～16％，Al为5～7％，余量为Si和无法避免的杂质。
2.如权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述氮化硅锆铝层的厚度为1-10nm。
3.如权利要求1所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述功能膜系层为阳光控制膜系层或低辐射膜系层。
4.如权利要求3所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述阳光控制膜系层由电介质层、功能层叠加组成；所述低辐射膜系层由电介质层、阻挡层、功能层叠加组成。
5.如权利要求4所述的镀膜玻璃，其特征在于，所述阳光控制膜系层中的功能层为单银膜层、双银膜层或三银膜层；所述低辐射膜系层中的功能层为单银膜层、双银膜层或三银膜层。
6.一种镀膜玻璃的制备方法，用于制备如权利要求1-5任一项所述的镀膜玻璃，其特征在于，包括如下步骤：
S1.提供一玻璃基片；
S2.在所述玻璃基片表面沉积功能膜系层；
S3.在所述功能膜系层表面沉积一层氮化硅锆铝层，其中，所述氮化硅锆铝层是以硅锆铝三元材料为靶材在含氮气氛下经磁控溅射沉积而成，所述硅锆铝三元材料的组成及重量百分比为：Zr为12～16％，Al为5～7％，余量为Si和无法避免的杂质。
7.如权利要求6所述的镀膜玻璃的制备方法，其特征在于，所述含氮气氛的真空度为3×10-3～5×10-3mbar，所述含氮气氛中氮气和氩气的体积比为1:1.2～1.5，所述磁控溅射的沉积功率为50～70kW。
8.如权利要求6所述的镀膜玻璃的制备方法，其特征在于，在所述功能膜系层表面沉积一层厚度为1-10nm的氮化硅锆铝层。
9.如权利要求6所述的镀膜玻璃的制备方法，其特征在于，所述功能膜系层为阳光控制膜系层或低辐射膜系层。
10.如权利要求9所述的镀膜玻璃的制备方法，其特征在于，当所述功能膜系层为阳光控制膜系层时，所述在所述玻璃基片表面沉积功能膜系层的步骤具体包括：在所述玻璃基片上沉积电介质层、功能层；或，当所述功能膜系层为低辐射膜系层时，所述在所述玻璃基片表面沉积功能膜系层的步骤具体包括：在所述玻璃基片上沉积电介质层、阻挡层、功能层。
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