[发明专利]一种镀膜玻璃及其制备方法

说明书

本发明公开了一种镀膜玻璃及其制备方法，其包括：玻璃基片；功能膜系层，沉积于所述玻璃基片表面上；氮化硅锆铝层，沉积于所述功能膜系层表面上，其中，所述氮化硅锆铝层是以硅锆铝三元材料为靶材在含氮气氛下经磁控溅射沉积而成，所述硅锆铝三元材料的组成及重量百分比为：Zr为12～16％，Al为5～7％，余量为Si和无法避免的杂质。本发明中，该氮化硅锆铝层同时具有优良的耐氧化性、耐磨性、耐擦拭性及耐酸性，使得镀膜玻璃在运输、储藏和加工的过程中能更好地保护镀膜玻璃中的功能膜系层，可以用于保护用于保护双银镀膜玻璃和三银镀膜玻璃。

技术领域

本发明涉及玻璃领域，特别涉及一种镀膜玻璃及其制备方法。

背景技术

在深加工行业里，传统镀膜玻璃的最终用途是建筑幕墙中空玻璃。镀膜玻璃在经过多道工序加工：通常包括切割、钻孔、磨边、钢化、除膜、中空、工序之间的转运等，镀膜面的膜层通常会撞击、擦拭、暴露空气中受潮、清洗水腐蚀、长时间存储氧化等或多或少轻重损伤，因此镀膜玻璃的最外层膜层在增强抗击外部侵蚀防护强度尤为重要、必须改良，否则最终会影响加工玻璃的质量和生产效率等制造成本。

现有技术中有报道采用SiNx和ZrSiOxNy混合物作为镀膜玻璃的最外层膜层，也有报道采用氮化硅锆铝层作为镀膜玻璃的最外层膜层。

但本申请的发明人在实现本申请实施例的过程中，发现上述技术至少存在如下技术问题：现有技术中镀膜玻璃的最外层膜层的耐氧化性、耐磨性、耐擦拭性及耐酸性尚待改善，无法同时具有优良的耐氧化性、耐磨性、耐擦拭性及耐酸性，这些膜层只能用于保护单银镀膜玻璃，无法用于保护双银镀膜玻璃和三银镀膜玻璃。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种镀膜玻璃及其制备方法，该镀膜玻璃的最外层为氮化硅锆铝层，所述氮化硅锆铝层是以硅锆铝三元材料为靶材在含氮气氛下经磁控溅射沉积而成，所述硅锆铝三元材料的组成及重量百分比为：Zr为12～16％，Al为5～7％，余量为Si和无法避免的杂质，使得该氮化硅锆铝层同时具有优良的耐氧化性、耐磨性、耐擦拭性及耐酸性，使得镀膜玻璃在运输、储藏和加工的过程中能更好地保护镀膜玻璃中的功能膜系层，可以用于保护双银镀膜玻璃和三银镀膜玻璃。

为本发明所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：

本发明的第一方面，提供了一种镀膜玻璃，包括：

玻璃基片；

功能膜系层，沉积于所述玻璃基片表面上；

氮化硅锆铝层，沉积于所述功能膜系层表面上，其中，所述氮化硅锆铝层是以硅锆铝三元材料为靶材在含氮气氛下经磁控溅射沉积而成，所述硅锆铝三元材料的组成及重量百分比为：Zr为12～16％，Al为5～7％，余量为Si和无法避免的杂质。

进一步地，所述氮化硅锆铝层的厚度为1-10nm。

进一步地，所述功能膜系层为低辐射膜系层或阳光控制膜系层。

进一步地，所述阳光控制膜系层由电介质层、功能层叠加组成；所述低辐射膜系层由电介质层、阻挡层、功能层叠加组成。

进一步地，所述阳光控制膜系层中的功能层为单银膜层、双银膜层或三银膜层；所述低辐射膜系层中的功能层为单银膜层、双银膜层或三银膜层。

根据本发明的另一方面，提供了一种镀膜玻璃的制备方法，包括如下步骤：

S1.提供一玻璃基片；

S2.在所述玻璃基片表面沉积功能膜系层；

S3.在所述功能膜系层表面沉积一层氮化硅锆铝层，其中，所述氮化硅锆铝层是以硅锆铝三元材料为靶材在含氮气氛下经磁控溅射沉积而成，所述硅锆铝三元材料的组成及重量百分比为：Zr为12～16％，Al为5～7％，余量为Si和无法避免的杂质。