[发明专利]一种能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置

权利要求书

1.一种能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置，其特征在于，所述装置包括有成膜系统和抽气系统，

所述抽气系统包括有一密封回收罩(1)，所述密封回收罩(1)底部设置有回收口，所述回收口与真空吸取器相连；

所述成膜系统包括有设于所述密封回收罩(1)内的载物盘(6)和基片(5)，所述基片(5)为“U”型并且倒扣在所述载物盘(6)的上表面，所述基片(5)的内径设置有内齿(5a)与所述载物盘(6)外径上的外齿(6a)相啮合，在所述载物盘(6)上表面设置有若干个中空吸盘(6c)以用于将所述基片(5)内部开口的下表面吸附住，所述载物盘(6)底部设置有纵向旋转轴(17)以可水平旋转，所述载物盘(6)的转轴内设有中空管道，所述中空管道上端与各所述中空吸盘(6c)相连，另一端通过抽气管(10)与抽气泵相连。

2.如权利要求1所述的能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置，其特征在于，所述真空吸取器为设于所述密封回收罩(1)外部的抽液针筒(3)，所述抽液针筒(3)的前端开口通过抽液细管(2)与所述回收口相连，且在所述抽液细管(2)上设置有一单向阀(2a)；

所述抽液细管(2)为直径0.4cm～1cm的橡胶管。

3.如权利要求2所述的能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置，其特征在于，在所述密封回收罩(1)底边设置有一位于所述基片(5)外围的环形集液槽，所述回收口开设在所述环形集液槽的最低处。

4.如权利要求1所述的能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置，其特征在于，所述成膜系统包括有一安装在所述密封回收罩(1)底部的机壳(18)，所述抽气泵、所述旋转轴(17)安装在所述机壳(18)内，且在所述机壳(18)内设置有用于驱动所述旋转轴(17)转动的变频旋转电机(7)，所述抽气管(10)通过密封轴承(11)与所述中空管道相连。

5.如权利要求1所述的能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置，其特征在于，在所述机壳(18)内设置有与所述抽气泵、所述变频旋转电机(7)电相连的控制盒，所述控制盒设置有外露于所述机壳(18)侧壁的控制按键和显示器。

6.如权利要求1所述的能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置，其特征在于，所述旋转轴(17)穿过所述密封回收罩(1)的底部中心孔(1a)与所述载物盘(6)固定连接，所述中心孔(1a)的边缘高于所述密封回收罩(1)底面1-3cm。

7.如权利要求1所述的能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置，其特征在于，所述基片(5)的材质为石英，且上表面为平坦的水平面。

8.如权利要求1所述的能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置，其特征在于，所述载物盘(6)内设置有若干气孔(6b)，所述若干气孔(6b)的顶端分别与各所述吸盘(6c)相连，且另一端与所述中空管道上端相连。