[发明专利]一种能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置

说明书

本发明提供了一种能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置，包括有成膜系统和抽气系统，抽气系统包括有一密封回收罩，密封回收罩底部设置有回收口，回收口与真空吸取器相连；成膜系统包括有设于密封回收罩内的载物盘和基片，基片为“U”型并且倒扣在载物盘的上表面，基片的内径设置有内齿与载物盘外径上的外齿相啮合，在载物盘上表面设置有若干个中空吸盘以用于将基片内部开口的下表面吸附住，载物盘底部设置有纵向旋转轴以可水平旋转，载物盘的转轴内设有中空管道，中空管道上端与各中空吸盘相连，另一端通过抽气管与抽气泵相连。本发明节约了化学原料，同时使得回收盘易于清理，为化学废料的后处理减轻了负担，并且此装置结构简单、使用维护方便。

技术领域

本发明涉及旋转涂膜工艺，具体涉及到一种能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置。

背景技术

KW—4A型旋转涂膜仪其总体由美国凯美特技术公司设计完成，主要原理是将基片固定在旋转基座上，将前驱体溶液滴在载片上，通过高速旋转基座使得成膜溶液均匀铺开，制得厚度均匀的薄膜且实验具有良好的重复性、一致性、稳定性。KW—4A型旋转涂膜仪适用于电子电气、新能源、生物医学、光学等领域。

当载片和吸盘高速旋转时，成膜溶液均匀铺开，在载片上形成厚度均匀的薄膜，多余的成膜溶液从载片边缘甩出，被装置的回收盘回收。但现有的回收盘是一个碗状装置，维护设备的方法主要有两种，一种是通过特定的清洁布进行擦拭，另一种是通过拆分设备进行单独清洗。这种传统的回收装置有许多弊端，第一、用清洁布擦拭回收盘无法将回收盘完全擦拭干净，残留溶液易被吸入气泵和气管中，造成堵塞，影响吸盘对载片的吸附力；第二、回收盘中的前驱体溶液不易收集循环使用，造成了原料的浪费；第三，大量的前驱体溶液被浪费造成后续的实验废料处理麻烦，处理成本升高。此外，在机器工作中，旋转基座带动载片高速转动，容易造成基片被甩出的情况，进而无法完成试样的制备。

发明内容

针对现有技术中的不足，本发明要解决的技术问题在意提供一种能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置及方法，可以实现前驱体溶液的回收，方便循环使用或者集中处理，具有易于维护，成本较低，使用寿命较长的优点。具体方案如下：

一种能够回收前驱体溶液的旋转涂膜装置，所述装置包括有成膜系统和抽气系统，

所述抽气系统包括有一密封回收罩，所述密封回收罩底部设置有回收口，所述回收口与真空吸取器相连；

所述成膜系统包括有设于所述密封回收罩内的载物盘和基片，所述基片为“U”型并且倒扣在所述载物盘的上表面，所述基片的内径设置有内齿与所述载物盘外径上的外齿相啮合，在所述载物盘上表面设置有若干个中空吸盘以用于将所述基片内部开口的下表面吸附住，所述载物盘底部设置有纵向旋转轴以可水平旋转，所述载物盘的转轴内设有中空管道，所述中空管道上端与各所述中空吸盘相连，另一端通过抽气管与抽气泵相连。

进一步的，所述真空吸取器为设于所述密封回收罩外部的抽液针筒，所述抽液针筒的前端开口通过抽液细管与所述回收口相连，且在所述抽液细管上设置有一单向阀；

所述抽液细管为直径0.4cm～1cm的橡胶管。

进一步的，在所述密封回收罩底边设置有一位于所述基片外围的环形集液槽，所述回收口开设在所述环形集液槽的最低处。

进一步的，所述成膜系统包括有一安装在所述密封回收罩底部的机壳，所述抽气泵、所述旋转轴安装在所述机壳内，且在所述机壳内设置有用于驱动所述旋转轴转动的变频旋转电机，所述抽气管通过密封轴承与所述中空管道相连。

进一步的，在所述机壳内设置有与所述抽气泵、所述变频旋转电机电相连的控制盒，所述控制盒设置有外露于所述机壳侧壁的控制按键和显示器。

进一步的，所述旋转轴穿过所述密封回收罩的底部中心孔与所述载物盘固定连接，所述中心孔的边缘高于所述密封回收罩底面1-3cm。