[发明专利]一种高功率激光增透膜透过率测量方法及其测量装置

权利要求书

1.一种高功率激光增透膜透过率测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)控制计算机(8)控制激光光源设备(1)输出准直光束；

2)通过干涉光路将准直光束分为两束光，并调节干涉光路，使两束光在探测系统(7)中形成第一干涉条纹图像；

3)样品台(6)将表面镀增透膜的待测透射元件切入干涉光路中，调整待测透射元件的方位角，在探测系统(7)中形成第二干涉条纹图像；

4)首先，控制计算机(8)对第一干涉条纹图像和第二干涉条纹图像进行滤波去噪处理；

其次，控制计算机(8)从滤波去噪后的第一干涉条纹图像中提取第一干涉条纹强度的最大值I_max和最小值I_min，并计算第一干涉条纹图像的对比度v；

第一干涉条纹图像的对比度v的计算公式为：

再次，控制计算机(8)从滤波去噪后的第二干涉条纹图像中提取第二干涉条纹强度的最大值I_max′和最小值I_min′，并计算第二干涉条纹图像的对比度v′；

第二干涉条纹图像的对比度v′的计算公式为：

最后，控制计算机(8)得到待测透射元件对比度的变化量为：dv＝v′-v；

5)根据下述公式计算待测透射元件透过率T：

6)将待测透射元件多次切入和切出光路进行测量，求得待测透射元件透过率T的平均值作为待测透射元件透过率的测量值。