[发明专利]一种高功率激光增透膜透过率测量方法及其测量装置

说明书

本发明涉及高功率激光增透膜透过率测量技术，具体涉及一种高功率激光增透膜透过率测量方法，以解决现有的增透膜透过率测量精确度低的问题。本发明所采用的技术方案为；一种高功率激光增透膜透过率测量方法，首先，控制计算机控制激光光源设备输出准直光束；其次，通过干涉光路将准直光束分为两束光，并调节干涉光路，使两束光在探测系统中形成第一干涉条纹图像；再次，样品台将待测透射元件切入干涉光路中，在探测系统中形成第二干涉条纹图像；最后，控制计算机对第一干涉条纹图像和第二干涉条纹图像进行滤波去噪处理并计算增透膜透过率；本发明还提供了一种高功率激光增透膜透过率测量装置。

技术领域

本发明涉及高功率激光增透膜透过率测量技术，具体涉及一种高功率激光增透膜透过率测量方法及其测量装置。

背景技术

在高功率激光系统中，为了减少激光能量的损耗，通常会在透射元件表面镀增透膜。膜层透射率是评价镀膜质量的主要指标，并影响激光系统的工作性能和安全性，因此，准确测量增透膜的透射率具有重要意义。

目前测量增透膜透过率主要采用直接比率法，即分别测量入射激光通量Pi和透射激光通量Po，通过透过率计算公式T＝(Po/Pi)得到增透膜透过率。

上述增透膜透过率测量方式分为单光路法和双光路法两种。单光路法是采用单一探测器先后测量无待测元件和有待测元件时的光通量，测量重复性和准确度易受光源输出功率波动的影响；双光路法是采用双探测器分别同时测量无待测元件光路(参考光路)和有待测元件光路(测量光路)的光通量，测量重复性和准确度易受双探测器不一致性的影响。因此，直接比率测量方法难以满足高功率激光增透膜透过率的测量精度要求。

发明内容

本发明目的在于提供了一种高功率激光增透膜透过率测量方法及其测量装置，用以克服现有直接比率测量方法测量增透膜透过率，存在测量重复性和准确度差、测量精确度低的技术问题。

本发明所采用的技术方案为：一种高功率激光增透膜透过率测量方法，包括以下步骤：

1)控制计算机控制激光光源设备输出准直光束；

2)通过干涉光路将准直光束分为两束光，并调节干涉光路，使两束光在探测系统中形成第一干涉条纹图像；

3)样品台将待表面镀增透膜的测透射元件切入干涉光路中，调整待测透射元件的方位角，在探测系统中形成第二干涉条纹图像；

4)首先，控制计算机对第一干涉条纹图像和第二干涉条纹图像进行滤波去噪处理；

其次，控制计算机从滤波去噪后的第一干涉条纹图像中提取第一干涉条纹强度的最大值I_max和最小值I_min，并计算第一干涉条纹图像的对比度v；

再次，控制计算机从滤波去噪后的第二干涉条纹图像中提取第二干涉条纹强度的最大值I_max′和最小值I_min′，并计算第二干涉条纹图像的对比度v′；

最后，控制计算机得到待测透射元件的对比度的变化量为：dv＝v′-v；

5)根据下述公式计算待测透射元件透过率T：

6)将待测透射元件多次切入和切出光路进行测量，求得待测透射元件透过率T的平均值作为待测透射元件透过率的测量值。

进一步地，步骤4)中，第一干涉条纹图像的对比度v的计算公式为：

第二干涉条纹图像的对比度v′的计算公式为：