[发明专利]一种高精度角度微调机构

权利要求书

1.一种高精度角度微调机构，其特征在于，

包括绕着转盘中心轴转动的转盘；

该机构还包括基础台；

所述基础台上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构，而滑台结构上设有为滑动气浮块提供张紧力的张紧机构，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块；

所述配轴气浮块通过转轴安装在所述转盘上。

2.根据权利要求1所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，所述滑台结构为气浮滑台，并X轴方向横向滑动连接在基础台提供的滑轨上。

3.根据权利要求1所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，

所述张紧机构安装在张紧块，并利用张紧块安装在滑台结构上，张紧块可为张紧机构在提供张紧力的过程中提供支撑力；

所述张紧机构在远离张紧块一端设置在L型气浮滑块上；

所述L型气浮滑块通过自身设置的两个气浮面分别与滑动气浮块和滑台结构接触，进行相对滑台结构沿X轴方向横向位移。

4.根据权利要求3所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，所述张紧机构利用张紧块可拆卸式安装在滑台结构上。

5.根据权利要求1所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，所述滑动气浮块与配轴气浮块的接触面为气浮面，进行沿Y轴方向纵向位移。

6.根据权利要求1所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，所述配轴气浮块通过自身设置的两个气浮面分别于滑动气浮块和挤压块接触，而挤压块安装在滑台结构上。

7.根据权利要求6所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，所述挤压块通过螺丝可拆卸式安装在滑台结构上。

8.根据权利要求1-7任一所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，

所述转轴通过夹轴机构安装在转盘上，而夹轴机构通过螺栓可拆卸式安装在转盘上。

9.根据权利要求8所述的一种高精度角度微调机构，其特征在于，所述转轴11转动连接在夹轴机构上。