[发明专利]一种高精度角度微调机构

说明书

本发明适用于转台微调定位技术领域，具体是一种高精度角度微调机构，包括转盘；该机构还包括基础台；所述基础台上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构，而滑台结构上设有可以为滑动气浮块提供张紧力的张紧机构，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块；所述配轴气浮块通过转轴安装在所述转盘上；可以绕着转盘中心轴转动的转盘，在张紧机构提供张紧力后，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块，在转盘只能绕着转盘中心轴转动的限制下滑动气浮块沿Y轴方向纵向位移，转轴参照转盘沿逆时针方向做微角度运动，将简单的微直线运动转换成复杂的微角度运动，达成了角度微调的高精度性及高稳定性的目的。

技术领域

本发明涉及转台微调定位技术领域，具体是一种高精度角度微调机构。

背景技术

气吸附台为精密运动平台设计的理想选择，配合高精度气浮导轨，能够提供较高的直线或旋转基准，相比传统的线轨机械式结构具有超低摩擦、高稳定性的特点。

其中传统的微直线运动转换方式，比较简单，其稳定性和精度都较低，造成调节效果差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高精度角度微调机构，以解决传统的微直线运动转换方式，比较简单，其稳定性和精度都较低，造成调节效果差的问题。为实现上述目的，具体提供如下技术方案：

一种高精度角度微调机构，包括可以绕着转盘中心轴转动的转盘；

该机构还包括基础台；

所述基础台上连接有可进行X轴方向横向滑动的滑台结构，而滑台结构上设有可以为滑动气浮块提供张紧力的张紧机构，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块；

所述配轴气浮块通过转轴安装在所述转盘上。

可以绕着转盘中心轴转动的转盘，在张紧机构提供张紧力后，滑动气浮块可利用张紧机构提供的张紧力挤压配轴气浮块，在转盘只能绕着转盘中心轴转动的限制下滑动气浮块沿Y轴方向纵向位移，转轴参照转盘沿逆时针方向做微角度运动，将简单的微直线运动转换成复杂的微角度运动，达成了角度微调的高精度性及高稳定性的目的；同时配轴气浮块和滑动气浮块产生的相对运动，保证了机构的超低摩擦、高稳定性。

本发明中：所述滑台结构为气浮滑台，并X轴方向横向滑动连接在基础台提供的滑轨上。

本发明中：所述张紧机构安装在张紧块，并利用张紧块安装在滑台结构上，张紧块可为张紧机构在提供张紧力的过程中提供支撑力；

所述张紧机构在远离张紧块一端设置在L型气浮滑块上；

所述L型气浮滑块通过自身设置的两个气浮面分别与滑动气浮块和滑台结构接触，可以进行相对滑台结构沿X轴方向横向位移。

进一步的方案：所述张紧机构利用张紧块可拆卸式安装在滑台结构上。

本发明中：所述滑动气浮块与配轴气浮块的接触面为气浮面，可以进行沿Y轴方向纵向位移。

本发明中：所述配轴气浮块通过自身设置的两个气浮面分别于滑动气浮块和挤压块接触，而挤压块安装在滑台结构上。

进一步的方案：所述挤压块通过螺丝可拆卸式安装在滑台结构上。

本发明中：所述转轴通过夹轴机构安装在转盘上，而夹轴机构通过螺栓可拆卸式安装在转盘上。

进一步的方案：所述转轴转动连接在夹轴机构上。

本发明中：所述基础台的材质为花岗石。