[发明专利]金属掩膜板在审
申请号: | 202010576355.0 | 申请日: | 2020-06-22 |
公开(公告)号: | CN111748766A | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 唐振;戴万里;李玉鑫;王衣可 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 掩膜板 | ||
1.一种金属掩膜板,其特征在于,包括掩膜框架、以及设置于所述掩膜框架上的沿第一方向排列的异形遮蔽条和沿第二方向排列的规则形遮蔽条,所述异形遮蔽条和所述规则形遮蔽条相交设置以形成开口区;
所述异形遮蔽条包括主干、设置于所述主干一侧的异形突块、以及设置于所述主干另一侧且与所述异形突块相对的直边;其中,所述直边相对于所述主干形成有与所述异形突块反拉伸作用的突起。
2.如权利要求1所述的金属掩膜板,其特征在于,所述主干两端均设置有焊接区域,所述异形突块与所述焊接区域之间采用光滑结构过渡。
3.如权利要求2所述的金属掩膜板,其特征在于,所述光滑结构为圆弧或斜坡,所述光滑结构的垂直高度在0.5mm至5.0mm范围内。
4.如权利要求1所述的金属掩膜板,其特征在于,所述异形突块截面形状为梯形、矩形、三角形或不规则图形的凸齿。
5.如权利要求1所述的金属掩膜板,其特征在于,所述主干一侧的整体/局部设置有异形突块;或者,所述主干两侧的整体/局部设置有异形突块,所述异形结构与所述主干的连接处呈倒圆角或尖角结构。
6.如权利要求1所述的金属掩膜板,其特征在于,所述主干一侧设置有凸凹不平的异形突块,另一侧设置有规则的突起结构。
7.如权利要求1所述的金属掩膜板,其特征在于,规则形遮蔽条截面为矩形或平行四边形。
8.如权利要求1所述的金属掩膜板,其特征在于,所述开口区呈阵列状均匀布置,且所述开口区的形状为矩形、圆形、椭圆形、三角形或多边形。
9.如权利要求1所述的金属掩膜板,其特征在于,所述规则形遮蔽条两端均设置有焊接区域,所述异形遮蔽条和所述规则形遮蔽条对称焊接在所述掩膜框架上,且所述异形遮蔽条位于所述规则形遮蔽条表面。
10.如权利要求1所述的金属掩膜板,其特征在于,所述掩膜框架的材料为铁镍合金或不锈钢;所述异形支撑条和所述遮蔽支撑条的材料均为铁镍合金。
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