[发明专利]金属掩膜板在审
申请号: | 202010576355.0 | 申请日: | 2020-06-22 |
公开(公告)号: | CN111748766A | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 唐振;戴万里;李玉鑫;王衣可 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 李新干 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 掩膜板 | ||
本申请提供了一种金属掩膜板,本申请中金属掩膜板的异形遮蔽条包括主干、设置于主干一侧的异形突块、以及设置于主干另一侧且与异形突块相对的直边;其中,直边相对于主干形成有与异形突块反拉伸作用的突起,且所述主干两端均设置有焊接区域,所述异形突块与所述焊接区域之间采用光滑结构过渡,在金属掩膜板在张网焊接时,由于主干上采用了异形突块和光滑过渡结构,有效降低因焊接产生的突变量,增加了Y方向金属掩膜板的稳定性,避免了异形异形支撑条因为Y方向结构不对称导致张网精度差,从而实现金属掩膜板的高精度张网,保证镀膜的准确性。
技术领域
本发明涉及显示面板制造技术领域,尤其涉及一种金属掩膜板。
背景技术
全面屏手机是未来手机行业的发展趋势,而目前实现全面屏的方式众多,目前市面上主流的全面屏手机类型有刘海屏、水滴屏等,为了尽可能提高手机屏占比,而将手机的听筒和摄像头等器件放置在刘海、水滴等非显示区域,小尺寸的异形盲孔或通孔需要精细掩膜板来制备。
现有OLED器件的蒸镀工艺中采用精细金属掩膜板(Fine Metal Mask,简称FMM),该掩膜版包括异形支撑条(Howling)以及与异形支撑条(Howling)相配合常规的遮蔽部(Cover Mask),异形支撑条对OLED显示面板的边、倒角、异形区进行遮挡。由于异形支撑条的非对称性的异形结构使其在张网时较易发生弯曲,造成异形支撑条与显示面板的相对位置偏移,影响蒸镀精度。由于异形支撑条和遮蔽支撑条在Y方向不对称,在形成网状过程中纵向方向形变较大,导致金属掩膜板精度差,无法实现刘海、水滴等区域的高精度遮挡,从而导致刘海、水滴等区域被蒸镀膜层或者显示区域被少蒸镀膜层,影响显示面板形成的盲孔或通孔的质量。再加上一般是金属掩膜板制造商完成张网焊接后,运送至屏幕制造商进行蒸镀使用,这一过程往往需要花费相对高昂的财力和时间成本,且对于这类精细金属掩膜板往返维修过程也过于繁琐,导致成本上升。
因此,异形支撑条在张网之后,主要产生Y方向的拉伸变形,增大异形支撑条以及金属掩膜板的下垂,无法起到支撑金属掩膜板的效果的技术问题,需要改进。
发明内容
本发明提供一种金属掩膜板,能够解决现有技术中异形支撑条在张网之后,主要产生Y方向的拉伸变形,增大异形支撑条以及金属掩膜板的下垂,无法起到支撑金属掩膜板的效果的技术问题。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明提供一种金属掩膜板,一种金属掩膜板,其特征在于,包括掩膜框架、以及设置于所述掩膜框架上的沿第一方向排列的异形遮蔽条和沿第二方向排列的规则形遮蔽条,所述异形遮蔽条和所述规则形遮蔽条相交设置以形成开口区;
所述异形遮蔽条包括主干、设置于所述主干一侧的异形突块、以及设置于所述主干另一侧且与所述异形突块相对的直边;其中,所述直边相对于所述主干形成有与所述异形突块反拉伸作用的突起。
根据本发明一优选实施例,所述主干两端均设置有焊接区域,所述异形突块与所述焊接区域之间采用光滑结构过渡。
根据本发明一优选实施例,所述光滑结构为圆弧或斜坡,所述光滑结构的垂直高度在0.5mm-5.0mm范围内。
根据本发明一优选实施例,所述异形突块为梯形、矩形或三角形凸齿。
根据本发明一优选实施例,所述主干一侧的整体/局部设置有异形突块;或者,所述主干两侧的整体/局部设置有异形突块,所述异形结构与所述主干的连接处呈倒圆角或尖角结构。
根据本发明一优选实施例,所述主干一侧设置有凸凹不平的异形突块,另一侧设置有规则的突起结构。
根据本发明一优选实施例,规则形遮蔽条截面为矩形或平行四边形。
根据本发明一优选实施例,所述开口区呈阵列状均匀布置,且所述开口区的形状为矩形、圆形、椭圆形、三角形或多边形。
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