[发明专利]一种单层结构着色玻璃多种颜色的快速预制备方法有效
| 申请号： | 202010577049.9 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN111549315B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 杨扬;王天齐;李刚;金克武;彭赛奥;姚婷婷;夏申江;程海波;王金磊 | 申请（专利权）人： | 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/04;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/50 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单层 结构 着色 玻璃 多种 颜色 快速 预制 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种单层结构着色玻璃多种颜色的快速预制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、清洗玻璃基底，去除玻璃基底表面的污物，并吹干；
S2、沿玻璃基底顶面的对角线用油性记号笔点出五个大小一致的圆点，五个圆点将对角线六等分，所述圆点的直径为2mm；
S3、在玻璃基底顶面通过磁控溅射工艺沉积SiNX（0＜x＜1 .3）结构着色层，沉积时玻璃基底保持固定，磁控溅射的本底真空≤8 .5×10-4Pa，工作压强为3～6×10-1Pa，射频溅射功率为50～200w，靶材为Si靶，溅射工艺气体Ar流量20～40sccm，反应气体N2流量5～10sccm；溅射完成后，在玻璃基底顶面形成五种颜色的薄膜，五种颜色薄膜的位置与五个圆点的位置一一对应；
S4、用乙醇擦去步骤S2中所述的五个圆点，使薄膜形成五个圆孔；
S5、用台阶仪测量每个圆孔的高度，从而得到五种颜色薄膜相对应的厚度参数，完成预制备。
2.根据权利要求1所述的一种单层结构着色玻璃多种颜色的快速预制备方法，其特征在于，步骤S1采用超声波对玻璃基底进行清洗，先用洗洁精清洗10分钟，接着用丙酮清洗15分钟，再用乙醇清洗15分钟，最后用去离子水超声清洗20分钟。
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