[发明专利]一种单层结构着色玻璃多种颜色的快速预制备方法有效
申请号: | 202010577049.9 | 申请日: | 2020-06-23 |
公开(公告)号: | CN111549315B | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 杨扬;王天齐;李刚;金克武;彭赛奥;姚婷婷;夏申江;程海波;王金磊 | 申请(专利权)人: | 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 |
主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/04;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/50 |
代理公司: | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 | 代理人: | 陈俊 |
地址: | 233010 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单层 结构 着色 玻璃 多种 颜色 快速 预制 方法 | ||
本发明公开一种单层结构着色玻璃多种颜色的快速预制备方法,包括以下步骤:S1、清洗玻璃基底;S2、沿玻璃基底顶面的对角线用油性记号笔点出五个大小一致的圆点,五个圆点将对角线六等分;S3、在玻璃基底顶面通过磁控溅射工艺沉积SiNX结构着色层,沉积时玻璃基底保持固定,溅射完成后,在玻璃基底顶面形成五种颜色的薄膜;S4、用乙醇擦去步骤S2中所述的五个圆点,使薄膜形成五个圆孔;S5、用台阶仪测量每个圆孔的高度,得到五种颜色薄膜相对应的厚度参数,完成预制备;该预制备方法仅通过一次真空镀膜过程得到五种不同颜色的薄膜,从而快速获取薄膜的参数,提高正式生产的效率,有利于结构着色玻璃产品的产业化推广和应用。
技术领域
本发明涉及结构着色玻璃技术领域,具体是一种单层结构着色玻璃多种颜色的快速预制备方法。
背景技术
结构着色玻璃由于兼具良好的透过率和色彩,且颜色可调环保,永不褪色,因此被越来越多的应用于多个领域,如薄膜太阳能电池、硅基太阳能电池、平板集热器等方面。
然而通过在玻璃表面沉积介质层,利用薄膜的干涉、衍射或不均匀折射产生的结构色,一般需要先针对每一种单一颜色进行光学模拟,然后根据模拟的结果在玻璃表面沉积一定厚度的薄膜,最后根据实际的颜色效果进行再优化直至达到满意的结果为止。现行的制备过程较为繁琐,尤其在工业化生产过程中需要反复调试工艺参数才能达到理想的效果,从而导致生产成本的增加。
发明内容
本发明的目的在于提供一种单层结构着色玻璃多种颜色的快速预制备方法,该预制备方法仅通过一次真空镀膜过程得到五种不同颜色的薄膜,从而快速获取薄膜的参数,提高正式生产的效率,降低生产成本,有利于结构着色玻璃产品的产业化推广和应用。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种单层结构着色玻璃多种颜色的快速预制备方法,包括以下步骤:
S1、清洗玻璃基底,去除玻璃基底表面的污物,并吹干;
S2、沿玻璃基底顶面的对角线用油性记号笔点出五个大小一致的圆点,五个圆点将对角线六等分;
S3、在玻璃基底顶面通过磁控溅射工艺沉积SiNX(0<x<1.3)结构着色层,沉积时玻璃基底保持固定,磁控溅射的本底真空≤8.5×10-4Pa,工作压强为3~6×10-1Pa,射频溅射功率为50~200w,靶材为Si靶,溅射工艺气体Ar流量20~40sccm,反应气体N2流量5~10sccm;溅射完成后,在玻璃基底顶面形成五种颜色的薄膜,五种颜色薄膜的位置与五个圆点的位置一一对应;
S4、用乙醇擦去步骤S2中所述的五个圆点,使薄膜形成五个圆孔;
S5、用台阶仪测量每个圆孔的高度,从而得到五种颜色薄膜相对应的厚度参数,完成预制备。
进一步的,步骤S1采用超声波对玻璃基底进行清洗,先用洗洁精清洗10分钟,接着用丙酮清洗15分钟,再用乙醇清洗15分钟,最后用去离子水超声清洗20分钟。
进一步的,所述步骤S2中圆点的直径为2mm。
本发明的有益效果是,通过玻璃基底保持固定不旋转,加强薄膜表面的不均匀性,充分利用薄膜不均匀性这一在镀膜领域需要避免的缺陷,形成一次真空镀膜过程得到五种不同厚度的薄膜,在同一批次的磁控溅射中实现五种颜色的预制备;通过测量即可获得这五种颜色薄膜对应的厚度参数,从而可以将厚度参数应用至实际的正式生产中,避免生产过程中参数的反复调试,有效提高生产效率,降低生产成本,有利于结构着色玻璃产品的产业化推广和应用。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明:
图1是本发明步骤S2的示意图;
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