[发明专利]霍尔传感器和检测霍尔传感器应力影响程度的方法有效
申请号: | 202010578668.X | 申请日: | 2020-06-23 |
公开(公告)号: | CN111780798B | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 朱奇良;简卫;张欣;董火新;覃尚友 | 申请(专利权)人: | 深圳市飞仙智能科技有限公司 |
主分类号: | G01D18/00 | 分类号: | G01D18/00 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 李金伟 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 霍尔 传感器 检测 应力 影响 程度 方法 | ||
1.一种霍尔传感器,设置在衬底上,其特征在于,所述霍尔传感器包括:
霍尔感应单元矩阵,包括N个霍尔感应单元;其中,N为大于0的整数;
霍尔感应层电阻,分布在每个所述霍尔感应单元的周围;
其中,所述霍尔感应层电阻在所述衬底上的层次结构与所述霍尔感应单元在所述衬底上的层次结构相同,所述层次结构相同指的是以相同的制造工艺得到;所述霍尔传感器具有用于连接所述霍尔感应单元矩阵的引脚与用于连接所述霍尔感应层电阻的引脚;
所述霍尔感应单元的边缘在所述衬底上呈矩形,所述霍尔感应单元周围分布四个所述霍尔感应层电阻,且在所述霍尔感应单元矩阵中相邻的两个所述霍尔感应单元之间仅有一个所述霍尔感应层电阻,或所述霍尔感应单元的边缘在所述衬底上呈多边形或十字形,所述霍尔感应层电阻沿所述霍尔感应单元的边缘分布;其中,所述霍尔感应层电阻所呈现出的边缘形状为矩形,且所述矩形的长度与所述霍尔感应单元一条边的边缘长度相等,所述矩形的宽度小于所述霍尔感应单元一条边的边缘长度。
2.如权利要求1所述的霍尔传感器,其特征在于,所述霍尔传感器还包括:
设置在所述衬底上的检测辅助电路,用于连接所述霍尔感应层电阻,并根据预设参考电信号输出目标电信号,所述目标电信号用于测算所述霍尔感应层电阻的电阻值。
3.如权利要求2所述的霍尔传感器,其特征在于,所述检测辅助电路包括:
信号放大器、第一开关管、补偿电容、补偿电阻以及基准电阻;
所述信号放大器的正向输入端用于输入所述预设参考电信号,所述信号放大器的负向输入端与所述基准电阻的第一端,共接所述霍尔感应层电阻的第一连接端,所述基准电阻的第二端接地,所述信号放大器的输出端与所述第一开关管的受控端共接所述补偿电阻的第一端,所述第一开关管的高电位端用于连接电源,所述补偿电阻的第二端与所述补偿电容的第一端相连,所述补偿电容的第二端与所述第一开关管的低电位端相连形成输出节点,所述霍尔感应层电阻的第二连接端与所述输出节点相连。
4.如权利要求2所述的霍尔传感器,其特征在于,所述检测辅助电路包括:
信号放大器、第一开关管、第二开关管以及第三开关管;
所述信号放大器的正向输入端用于输入所述预设参考电信号,所述信号放大器的负向输入端与所述霍尔感应层电阻的第一连接端相连,形成第一节点,所述信号放大器的输出端与所述第一开关管的受控端相连,所述第一开关管的低电位端用于连接所述第一节点,所述第一开关管的高电位端用于连接所述第二开关管的低电位端,所述第二开关管的高电位端与所述第三开关管的高电位端共接电源,所述第二开关管的受控端与所述第三开关管的受控端相连形成第二节点,所述第二节点用于连接所述第一开关管的高电位端,所述第三开关管的低电位端为输出节点。
5.如权利要求3或4所述的霍尔传感器,其特征在于,所述霍尔感应层电阻包括第一电阻,所述第一电阻的第一端为所述霍尔感应层电阻的第一连接端,所述第一电阻的第二端为所述霍尔感应层电阻的第二连接端。
6.如权利要求3或4所述的霍尔传感器,其特征在于,所述霍尔感应层电阻包括第一电阻与第二电阻,所述第一电阻的第一端与所述第二电阻的第一端相连,所述第一电阻的第二端为所述霍尔感应层电阻的第一连接端,所述第二电阻的第二端为所述霍尔感应层电阻的第二连接端。
7.一种检测霍尔传感器应力影响程度的方法,应用于处理单元,其特征在于,所述处理单元与权利要求1至6任一项所述的霍尔传感器相连,所述检测霍尔传感器应力影响程度的方法包括:
确定所述霍尔传感器中N个所述霍尔感应单元分别对应的霍尔感应层电阻;
基于所述霍尔感应层电阻的电阻值确定所述霍尔传感器的应力影响程度。
8.如权利要求7所述的检测霍尔传感器应力影响程度的方法,其特征在于,所述霍尔感应层电阻与设置在所述衬底上的检测辅助电路相连;
所述检测霍尔传感器应力影响程度的方法还包括:
测算所述霍尔感应层电阻的电阻值。
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