[发明专利]一种衬底传送装置及衬底传送方法

权利要求书

1.一种衬底传送装置，其特征在于，包括：定位底座(1)、定位杆(2)和抓取装置(3)；

其中，底座(1)位于本装置的下部，定位杆(2)的一端与定位底座(1)连接，定位杆(2)的另一端与抓取装置(3)连接；

抓取装置(3)的下部设有转盘(301)，转盘(301)上设有多个长条形抓取臂(302)，抓取臂(302)的前端均设有向下的抓钩(303)，在转盘(301)圆心处设有旋转轴(304)，旋转轴(304)上设有旋转限位块(305)和旋转限位座(401)，旋转限位座(401)与旋转限位块(305)之间设有旋转限位销(306)，旋转限位座(401)位于两个定位底座(402)之间的横梁(403)上，所述旋转限位座(401)的下方横梁上(403)上，设有升降限位块(404)。

旋转动作中，取盘时，旋转限位块(305)和旋转限位座(401)左侧接触完成限位，放盘时，旋转限位块(305)和旋转限位座(401)右侧接触完成限位；

升降动作中，上位时，旋转限位座(401)和升降定位块(404)接触完成限位，下位时，旋转限位块(305)和旋转限位座(401)接触完成限位。

2.根据权利要求1所述的一种衬底传送装置，其特征在于，所述旋转限位座(401)上设有固定孔，旋转时，旋转限位销(306)与旋转限位座(401)上的固定孔来固定调整旋转角度。

3.根据权利要求1所述的一种衬底传送装置，其特征在于，所述转盘(301)上设有三条抓取臂(302)，每条抓取臂(302)前端设有向下的抓钩(303)。

4.根据权利要求1所述的一种衬底传送装置，其特征在于，所述抓钩(303)下端设有突出卡扣，当取盘时，卡扣可以方便对晶圆托盘进行抓取。

5.根据权利要求1所述的一种衬底传送装置，其特征在于，所述底座(1)下方设有滑轮。

6.根据权利要求1所述的一种衬底传送装置，其特征在于，所述定位底座(402)的下端设有定位销(405)，取放晶圆托盘时，定位销(405)对正腔体的定位孔，达到定位作用。

7.一种衬底传送方法，所述方法采用权利要求1～任意一种衬底传送装置及衬底传送方法进行，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

1)将装置运至腔体正上方，将定位底座(402)的定位销(405)对正腔体的定位孔，装置缓缓下降，定位底座(402)底面与腔体上面完全贴合受力后，停止下降；

2)调整抓取装置旋转方向，抓取装置(3)旋转至取盘位置；

3)继续缓缓下降，直至旋转定位块(305)与旋转定位座(401)限位接触，下位定位；

4)调整抓取装置(3)旋转方向，抓取装置(3)旋转至放盘位置；

5)将装置缓缓升起，抓取装置(3)抓钩(303)托起晶圆托盘，直至升降限位块(404)与转盘(301)接触，上位定位，此时晶圆托盘脱离加热盘上表面；

6)继续降装置升起，抓取装置(3)带动定位底座(402)升起，离开腔体上表面，定位销(405)完全脱出定位孔后，可将晶圆托盘运出腔体范围，完成取盘动作。