[发明专利]干燥机构及具有其的石英管清洗装置

权利要求书

1.一种干燥机构，用于石英管清洗装置，其特征在于，所述干燥机构包括：

供气模块，所述供气模块内存储有吹扫气体；

承托模块，所述承托模块用于承托待干燥石英管；

喷射模块，所述喷射模块与所述承托模块配合且与所述供气模块连通，所述喷射模块上设有喷射孔组，所述喷射模块为可伸缩结构，至少部分所述喷射模块能够伸入到所述待干燥石英管的内部，以使所述吹扫气体对所述待干燥石英管的内表面进行干燥。

2.根据权利要求1所述的干燥机构，其特征在于，所述干燥机构还包括加热模块，所述喷射模块通过所述加热模块与所述供气模块连通，所述加热模块用于对所述吹扫气体加热，以使进入到所述待干燥石英管内的所述吹扫气体达到预设温度。

3.根据权利要求2所述的干燥机构，其特征在于，所述预设温度的范围为50℃～120℃。

4.根据权利要求1所述的干燥机构，其特征在于，所述喷射模块包括：

主管单元，所述主管单元与所述承托模块配合，所述喷射孔组包括开设于所述主管单元的第一孔，所述吹扫气体能够经所述第一孔进入到所述待干燥石英管的内部；

套管单元，至少部分所述套管单元以可移动的方式插接于所述主管单元，所述喷射孔组还包括开设于所述套管单元的第二孔，所述吹扫气体能够经所述第二孔进入到所述待干燥石英管的内部。

5.根据权利要求4所述的干燥机构，其特征在于，所述套管单元包括多个套管部，各所述套管部依次以可活动的方式套装连接，以使所述套管单元形成可伸缩结构。

6.根据权利要求4所述的干燥机构，其特征在于，所述喷射模块还包括尾管单元，至少部分所述尾管单元以可移动的方式插接于所述套管单元远离主管单元的一端，以形成柱状结构，所述主管单元、所述套管单元和所述尾管单元同轴设置，所述喷射孔组还包括第三孔，所述第三孔开设在所述尾管单元远离所述套管单元的一端，所述吹扫气体能够经所述第三孔进入到所述待干燥石英管的内部。

7.根据权利要求6所述的干燥机构，其特征在于，所述喷射孔组还包括第四孔，所述第四孔开设在所述尾管单元的侧壁上，所述第一孔、所述第二孔和所述第四孔以螺旋的方式设置在所述柱状结构的侧壁上。

8.根据权利要求7所述的干燥机构，其特征在于，所述第一孔的数量为多个，各所述第一孔间隔设置在所述主管单元上；

并且/或者所述第二孔的数量为多个，各所述第二孔间隔设置在所述套管单元上；

并且/或者所述第四孔的数量为多个，各所述第四孔间隔设置在所述尾管单元上。

9.根据权利要求1所述的干燥机构，其特征在于，所述承托模块包括：

承托板，所述承托板上设有安装孔，所述喷射模块安装于所述安装孔；

支撑件，所述支撑件的数量为多个，各所述支撑件间隔设置在所述承托板上且分别用于所述待干燥石英管的开口端的抵靠。

10.根据权利要求9所述的干燥机构，其特征在于，所述承托模块还包括围板，所述围板设置在所述承托板上且与所述承托板形成筒状收容空间，各所述支撑件均位于所述收容空间内，所述收容空间至少用于收容所述开口端；

并且/或者所述承托板上还设有排气孔，所述排气孔与所述安装孔间隔设置且用于所述吹扫气体的排出；

并且/或者所述喷射模块的数量为多个，各所述喷射模块在所述承托板上间隔设置，所述喷射模块与所述安装孔对应设置。

11.一种石英管清洗装置，用于半导体扩散设备，其特征在于，所述石英管清洗装置包括如权利要求1至10任一项所述的干燥机构。